半导体行业真空泵核心使用企业清单

一、晶圆制造企业（真空泵核心采购方）

（一）中国大陆晶圆厂

1. 中芯国际

￮ 核心业务：14nm/7nm 先进逻辑芯片、12 英寸晶圆代工，覆盖成熟制程与先进制程

￮ 真空泵应用场景：EUV 光刻、干法刻蚀、CVD/ALD 薄膜沉积、离子注入、晶圆清洗、去胶全工艺

￮ 适配泵型：干式螺杆泵、磁悬浮分子泵、低温泵、超高真空组合机组

￮ 合作真空供应商：中科科仪、爱德华、普发、莱宝

2. 长江存储

￮ 核心业务：3D NAND 闪存芯片研发、12 英寸晶圆量产

￮ 真空泵应用场景：闪存晶圆薄膜沉积、刻蚀、清洗、键合工艺

￮ 适配泵型：干式真空泵、超高真空机组、耐腐蚀真空泵

￮ 合作真空供应商：中科科仪、普旭、莱宝

3. 华虹半导体

￮ 核心业务：90nm-28nm 特色工艺、功率半导体、12 英寸晶圆制造

￮ 真空泵应用场景：CMOS 工艺、功率器件制程、刻蚀与薄膜沉积环节

￮ 适配泵型：干式螺杆泵、罗茨干泵

￮ 合作真空供应商：中科科仪、浙江莱斯特、爱德华

4. 长鑫存储

￮ 核心业务：DRAM 内存芯片研发、12 英寸晶圆量产

￮ 真空泵应用场景：电容沉积、刻蚀、离子注入、晶圆检测

￮ 适配泵型：干式真空泵、磁悬浮分子泵

￮ 合作真空供应商：莱宝、普旭、中科科仪

二、半导体设备厂商（真空泵配套集成方）

1. 北方华创

￮ 核心设备：刻蚀机、CVD/PVD 薄膜沉积设备、晶圆清洗机

￮ 真空泵应用：设备内置真空系统、工艺腔体抽真空、尾气处理

￮ 适配泵型：干式螺杆泵、分子泵、罗茨泵

￮ 合作真空供应商：中科科仪、汉钟精机、通嘉宏瑞

2. 中微公司

￮ 核心设备：干法刻蚀机、MOCVD 设备

￮ 真空泵应用：刻蚀反应腔真空、工艺气体抽排、腔体清洁

￮ 适配泵型：干式真空泵、耐腐蚀真空机组

￮ 合作真空供应商：爱德华、普发、中科科仪

3. 屹唐半导体

￮ 核心设备：半导体刻蚀机、去胶机、薄膜沉积设备

￮ 真空泵应用：工艺腔体真空维持、尾气回收处理

￮ 适配泵型：干式螺杆泵、罗茨干泵

￮ 合作真空供应商：中科科仪、通嘉宏瑞

4. 拓荆科技

￮ 核心设备：PECVD/ALD/SACVD 薄膜沉积设备

￮ 真空泵应用：沉积腔体高真空环境搭建、工艺气体抽离

￮ 适配泵型：干式真空泵、磁悬浮分子泵

￮ 合作真空供应商：普发、爱德华、中科科仪

三、半导体封测企业（真空泵批量使用方）

1. 长电科技

￮ 核心业务：先进封装、2.5D/3D 封装、传统芯片封测

￮ 真空泵应用：晶圆键合、TSV 通孔、真空封装、气密性氦检

￮ 适配泵型：无油涡旋泵、罗茨泵、小型干式泵

￮ 合作真空供应商：中科科仪、汉钟精机、普旭

￮ 合作真空供应商：中科科仪、通嘉宏瑞、普发

5. 积塔半导体

￮ 核心业务：特色工艺晶圆、模拟芯片、功率半导体制造

￮ 真空泵应用场景：晶圆前道制程、封装前预处理

￮ 适配泵型：干式螺杆泵、无油涡旋泵

￮ 合作真空供应商：中科科仪、汉钟精机

（二）中国台湾晶圆厂

1. 台积电

￮ 核心业务：3nm/2nm 全球**xian进制程、逻辑芯片代工

￮ 真空泵应用场景：全制程真空工艺，涵盖光刻、刻蚀、沉积、离子注入全环节

￮ 适配泵型：超高真空分子泵、低温泵、干式干泵

￮ 合作真空供应商：爱德华、普发、莱宝、荏原

2. 联电

￮ 核心业务：28nm-90nm 成熟制程、功率 / 模拟芯片代工

￮ 真空泵应用场景：刻蚀、薄膜沉积、晶圆清洗

￮ 适配泵型：干式真空泵、罗茨真空机组

￮ 合作真空供应商：普旭、莱宝、中科科仪（逐步导入）

（三）国际头部晶圆厂

1. 三星半导体

￮ 核心业务：3nm GAA 先进制程、DRAM/NAND 闪存、12 英寸晶圆制造

￮ 真空泵应用场景：全制程真空工艺、先进封装制程

￮ 适配泵型：磁悬浮分子泵、干式螺杆泵、超高真空机组

￮ 合作真空供应商：爱德华、普发、荏原

2. SK 海力士

￮ 核心业务：DRAM/NAND 闪存芯片量产

￮ 真空泵应用场景：薄膜沉积、刻蚀、芯片检测、封装前工艺

￮ 适配泵型：干式真空泵、超高真空机组

2. 华天科技

￮ 核心业务：晶圆级封装、芯片测试、传统封测

￮ 真空泵应用：探针台真空吸附、封装脱气、可靠性测试

￮ 适配泵型：涡旋泵、罗茨泵、隔膜泵

￮ 合作真空供应商：中科科仪、通嘉宏瑞

3. 通富微电

￮ 核心业务：**芯片封测、AI 芯片封装、芯片测试

￮ 真空泵应用：倒装焊真空腔、封装检漏、真空烘烤

￮ 适配泵型：分子泵、干式螺杆泵、涡旋泵

￮ 合作真空供应商：爱德华、中科科仪、莱宝

四、半导体材料及配套企业

1. 上海新阳

￮ 核心业务：电子化学品、光刻胶、特种半导体材料

￮ 真空泵应用：材料真空精馏、溶剂回收、气体提纯

￮ 适配泵型：耐腐蚀干式泵、罗茨机组

￮ 合作真空供应商：汉钟精机、通嘉宏瑞

2. 安集科技

￮ 核心业务：CMP 抛光液、半导体专用电子材料

￮ 真空泵应用：材料真空干燥、粉体处理、溶剂脱除

￮ 适配泵型：无油涡旋泵、小型干式泵

￮ 合作真空供应商：中科科仪、普旭

五、半导体领域核心真空泵供应商

（一）国产核心供应商

1. 中科科仪（中科仪）：国内半导体真空龙头，14nm 制程干式泵批量落地，覆盖中芯国际、长江存储等头部晶圆厂

2. 汉钟精机：干式螺杆泵优势显著，切入长鑫存储、积塔半导体供应链，兼顾光伏与半导体市场

3. 通嘉宏瑞：专注半导体干式泵及配套零部件，服务长鑫、长存等存储芯片企业

4. 浙江莱斯特：半导体专用干式泵，供货华虹半导体、英飞凌等企业

（二）国际头部供应商

1. 爱德华（Edwards）：全球半导体真空市占率**，供货台积电、三星、中芯国际全产业链

2. 普发（Pfeiffer）：分子泵领域龙头，**刻蚀、沉积设备标配供应商

3. 莱宝（Leybold）：干式泵与分子泵双产品线，三星、SK 海力士核心合作伙伴

4. 普旭（Busch）：干式螺杆泵优势明显，成熟制程、封测领域市占率**

六、清单说明

1. 晶圆制造企业为真空泵**需求方，对超高真空、无油洁净、低振动要求严苛，采购量与单价双高；

2. 半导体设备厂商为真空泵配套集成方，设备出厂前完成真空系统组装，需求量稳定；

3. 封测及材料企业为真空泵大众需求方，以中低端、高性价比泵型为主，批量采购