樫山工业（Kashiyama），日本老牌干式真空泵

• 全称：樫山工業株式会社 Kashiyama Industries Co., Ltd.

• 创立于 1938 年，日本本土老牌真空泵厂，专注干式真空泵70 + 年

• 定位：日系中端、耐用稳定、维护成本低、性价比高

• 国内半导体、面板、锂电、光伏大量使用，代理渠道成熟

二、主流泵系列（*常用）

1. 爪式干式真空泵（SD 系列、SDE 系列，主力爆款）

• 无油爪式结构，转子无接触、无磨损

• 耐水汽、耐粉尘、抗轻微腐蚀，连续运转稳定

• 体积小、噪音低、维护简单，价格友好

• 用途：半导体后段、封装、镀膜、锂电、光伏、一般工业真空

2. 螺杆式干式真空泵（NS 系列）

• 大抽速、高真空、耐腐蚀更强

• 适配半导体刻蚀、CVD、PVD、清洗等严苛制程

• 对标荏原 DS、爱发科 LR 系列

3. 小型涡旋 / 隔膜干泵

三、核心优势（和其他品牌对比）

1. 日系品质，价格比荏原、爱发科更亲民，性价比**

2. 爪泵技术成熟，故障率低、易保养、备件便宜

3. 耐粉尘、耐水汽性能**，适合复杂工况

4. 体积紧凑，安装方便，24 小时连续运行稳定

5. 半导体封装、面板、锂电行业用量非常大

四、主要应用