真空企业携核心产品亮相，展示半导体真空解决方案
更新时间：2026-06-02
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一、国产替代里程碑：本土企业突破垄断、集中上市
全球市场：2025 年规模近 26 亿美元，2026-2030 年 CAGR 8.2%，2030 年将破 38 亿美元；干式真空泵占比超 70%。
中国市场：2026 年中国大陆 12 英寸晶圆产能达 240 万片 / 月（全球 25%），对应干泵需求14 万台；每 6 万片 / 月产能需约 3500 台干泵。
驱动因素：先进制程（3nm/2nm）、3D NAND 堆叠、化合物半导体（GaN/SiC）扩张，带动高洁净、耐腐蚀、大抽速干泵需求。
2026 年 3 月 27 日，SEMICON China 在上海闭幕，真空企业携核心产品亮相，展示半导体真空解决方案，获行业广泛关注。
2025-2026 年持续推广RDA 罗茨干泵（高真空、耐水汽）、DIS 涡旋干泵（洁净小型）、DA 隔膜泵（微型粗真空），适配刻蚀、沉积、检测等多场景。
为中芯国际、华虹提供定制化真空解决方案，维持**shichang份额。
2026 年发布GXS 系列升级款，抽速提升 20%，能耗降低 15%，适配 3nm 及以下先进制程。
与国内晶圆厂合作AI 智能监控系统，预测性维护减少非计划停机（每小时损失超 3 万美元）。
产品覆盖清洁 / 中等 / 苛刻全工艺，已进入中芯国际、华虹等头部晶圆厂，2023-2025 年营收年增 23.2%。
三大系列干泵通过国际大厂认证，正式打破爱德华、爱发科等外资垄断，2026 年一季度营收 6.89 亿元（+13.56%）。
从光伏依赖转向半导体增量，已切入头部晶圆厂供应链。
自主 NSS 系列全无油干泵，抽速达 8000m³/h，能耗比进口低 35%、维护成本降 60%，已供货华虹、海力士、京东方等。
二、外资动态：爱发科、爱德华持续加码中国市场
三、市场规模与需求：2026 年中国大陆需求达 14 万台
四、技术趋势：高效节能、无油洁净、AI 智能运维
五、展会动态：SEMICON China 2026 聚焦真空技术
2026 年 4 月 29 日北交所上市，为国内**在 14nm 先进制程、128 层 3D NAND 实现批量应用的国产干泵企业。
高效节能：国产干泵（如莱斯特 NSS、中科仪新一代）能耗较进口低 30%-50%，成为核心竞争力。
无油洁净：全无油润滑技术普及，适配 EUV 光刻、高纯度沉积等超洁净工艺，分子泵向高抽速（>5000L/s）、低氢气残留方向发展。
AI 智能运维：集成传感器与大数据分析，实时监测泵体状态，预测故障，降低维护成本与停机风险。
- 爱发科（ULVAC）：深耕中国，强化 RDA/DIS/DA 系列半导体干泵
- 爱德华（Edwards）：推出新一代干式螺杆泵，布局 AI 运维
