现货！！日本进口EBARA荏原EV-A10干式真空泵
更新时间：2026-06-02
浏览次数：18
公司最近出的新品！！现货！！EBARA荏原
一、四大子系列核心定位
EV‑S（标准轻载型）：清洁 / 中低腐蚀、轻负载，如 Load‑lock、SEM、PVD；超节能（0.8–1.5kW）、体积*小。
EV‑M（重载制程型）：半导体重制程（CVD / 刻蚀）、副产物多、高腐蚀；高温防堵、标准耐腐、大流量。
EV‑SA/EV‑A（风冷小型）：实验室、分析设备、小腔室；无需水冷、低噪音、即插即用。
EV‑L（大流量重载）：大腔室、高产能线；抽速 2,000–18,000 L/min、多级增压。
二、核心特点（半导体 Fab 核心需求）
**节能：DC 电机 + 智能怠速 / 休眠，比同业低 20–30% 功耗，50/60Hz 性能一致。
紧凑轻量化：同级别占地*小、重量*轻，适配自动化产线与狭小空间。
宽温防堵：EV‑M 系列高温运行控制，防止 NH₄Cl 等副产物冷凝沉积，适配 CVD/ALD。
标准强耐腐蚀：泵体NiResist 耐蚀铸铁标配，可选镍合金 / 涂层，适配 HF、Cl₂等腐蚀性气体。
智能监控合规：LCD 可编程控制器、报警历史存储；SEMI‑S2/CE/NRTL认证齐全。
三、主流型号参数（EV‑S/EV‑M 核心款）
EV‑S（轻载・节能）
| 型号 | 抽气速度 (L/min) | 极限压力 (Pa) | 功率 (kW) | 重量 (kg) |
|---|---|---|---|---|
| EV‑S20 | 2,000 | 0.4 | 0.8 | 180 |
| EV‑S30 | 3,000 | 0.4 | 1.0 | 200 |
| EV‑S50 | 5,000 | 0.4 | 1.2 | 240 |
EV‑M（重载・制程）
| 型号 | 抽气速度 (L/min) | 极限压力 (Pa) | 进气口径 | 功率 (kW) | 重量 (kg) |
|---|---|---|---|---|---|
| EV‑M20N | 1,800 | 5.0 | NW40 | 1.2 | 170 |
| EV‑M102N | 10,000 | 0.5 | ISO100 | 1.8 | 320 |
| EV‑M202N | 20,000 | 0.5 | ISO100 | 1.9 | 360 |
| EV‑M302N | 30,000 | 0.5 | ISO100 | 2.3 | 400 |
| EV‑M502N | 50,000 | 0.5 | ISO160 | 2.1 | 450 |
EV‑S：Load‑lock、PVD、SEM、检测设备、清洁制程。
EV‑M：CVD、刻蚀、ALD、扩散、退火、废气处理。
EV‑SA/EV‑A：实验室、分析仪器、小型外延、研发设备。
EV‑L：大尺寸面板、光伏大腔室、高产能沉积线。
五、EV vs ESA vs EST（选型参考）
EV 系列：全场景覆盖、超节能、紧凑；EV‑S 轻载，EV‑M 重载；适合成本敏感、节能优先、空间受限场景。
ESA 系列：轻气体 (H₂) 高效、MO‑CVD/EPI 专用；罗茨结构，氢气抽气效率*高。
EST 系列：高温防堵、强腐蚀、CVD/ALD 重载；螺杆结构，防沉积能力*优。
六、选型建议
轻载 / 节能优先：选EV‑S（Load‑lock/PVD）。
重载 / 腐蚀制程：选EV‑M（CVD / 刻蚀）。
MO‑CVD/EPI：选ESA（氢气高效）。
强腐蚀 / 防堵：选EST（螺杆高温）。
