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LR600 -
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2026-06-30 -
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ULVAC爱发科LR系列低温多级罗茨干式真空泵 LR 是半导体 / 显示标准洁净主力干泵，水冷多级罗茨、低温全域均热、屏蔽式氦密封电机，主打PVD 溅射、光学蒸镀、Loadlock 装载腔高频预抽；可独立直抽大气，洁净度、循环稳定性优于 GR 经济型，温控防腐弱于 HR/UR 腐蚀专用泵，是镀膜产线标配前级干泵
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