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| 品牌 | EBARA/荏原 | 供货周期 | 现货 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 化工,能源,电子/电池,航空航天,电气 |
华南一级代理 进口EBARA荏原多级罗茨干泵
华南一级代理 进口EBARA荏原多级罗茨干泵
| 型号 | 抽速 (L/min) | 极限真空 (Pa) | 功率 (kW) | 尺寸 (W×D×H,mm) | 重量 (kg) | 进气口径 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| EV‑M20N | 1,800 | 5.0 | 1.2 | 370×770×450 | 170 | NW40 |
| EV‑M102N | 10,000 | 0.5 | 1.8 | 380×790×752 | 320 | ISO100 |
| EV‑M202N | 20,000 | 0.5 | 1.9 | 380×820×752 | 360 | ISO100 |
| EV‑M302N | 30,000 | 0.5 | 2.3 | 380×910×830 | 400 | ISO100 |
| EV‑M502N | 50,000 | 0.5 | 2.8 | 定制 | 定制 | ISO160 |
后缀说明：N = 镍合金耐腐蚀；SF = 高粉尘 / 副产物；P = 氮气吹扫。
接液部NiResist 耐蚀铸铁 + 316L，标配耐卤素，耐受 Cl₂、HBr、BCl₃、HF 等强腐蚀气体。
内置高温控温（80–120℃），防止反应副产物（如 NH₄Cl）凝结沉积，防堵泵。
多级罗茨设计，H₂抽速优于同级别螺杆泵，适配外延 / ALD 的氢气氛围。
单泵最大50,000 L/min，支持多泵并联至10 万 + L/min，满足大腔室量产线。
IE5 电机 +怠速变频，负载低时自动降速，节能 30%–50%。
50/60Hz 通用，全球电网适配。
强制水冷，24/7 连续运行温升低、振动小（≤0.15mm）、噪音≤68dB。
MTBF≥25,000 小时，维护周期长，降低 Fab 停机风险。
真空侧无油，零油污染，满足高洁净制程。
标配Modbus/RS485，远程监控温度、压力、电流、振动，支持预警与数据记录。
干法刻蚀（Etch）：EV‑M102N/M202N，DRIE、导体 / 介质刻蚀，排含氯 / 溴强腐蚀废气。
CVD/ALD：EV‑M202N/M302N，HDP‑CVD、MOCVD、ALD，高温沉积腔主抽，防副产物沉积。
外延（Epi）：EV‑M302N/M502N，Si、GaN、SiC 外延，大流量氢气 + 高温工况稳定。
灰化（Ashing）：EV‑M102N，高功率光刻胶去除，排有机 + 微量腐蚀废气。
大腔室 / 多腔并联：EV‑M502N，量产线多腔共享真空系统。
| 系列 | 泵型 | 冷却 | 负荷 | 抽速 | 极限真空 | 核心优势 | 典型场景 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| EV‑M | 多级罗茨 | 水冷 | 高 | 1,800–50,000 L/min | 0.5–5 Pa | 耐腐强、防沉积、大抽速 | 刻蚀、MOCVD、外延 |
| EV‑X | 螺杆 | 水冷 | 中 | 3,000–30,000 L/min | 0.5 Pa | 均衡全能、紧凑节能 | 通用刻蚀、CVD、灰化 |
| EV‑SA | 双级罗茨 | 风冷 | 轻 | 1,670–5,000 L/min | 0.5–3 Pa | 免水冷、低能耗、小体积 | Load‑Lock、PVD、EUV 前级 |
强腐蚀刻蚀 / MOCVD：EV‑M202N（平衡耐腐 / 抽速 / 成本）。
SiC/GaN 外延 / 大腔室：选EV‑M302N/M502N。
高粉尘 / 副产物易沉积：选EV‑M××SF（高温防沉积强化版）。
预算有限、兼顾性能：选EV‑X200N（中负荷替代）。
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