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| 品牌 | EBARA/荏原 | 供货周期 | 现货 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 化工,能源,电子/电池,航空航天,电气 |
日本进口一级代理EBARA荏原 罗茨干式真空泵
日本进口一级代理EBARA荏原 罗茨干式真空泵
类型：多级罗茨干式泵（Oil‑free），无油、无润滑介质，避免油污染。
原理：多级 “罗茨转子" 串联，容积式压缩；配高温控制 + 吹扫，防止反应副产物沉积。
核心场景：半导体 CVD / 刻蚀、ALD、PECVD、光伏 / 液晶等高负载、含腐蚀 / 粉尘气体的制程。
| 型号 | 抽速 (L/min) | 极限压力 (Pa) | 极限功率 (kW) | 重量 (kg) |
|---|---|---|---|---|
| EV‑M20N | 2,000 | ＜1 | 1.2 | 250 |
| EV‑M102N | 10,000 | ＜1 | 1.8 | 320 |
| EV‑M202N | 20,000 | ＜1 | 1.9 | 360 |
| EV‑M302N | 30,000 | ＜1 | 2.3 | 400 |
| EV‑M502N | 50,000 | ＜1 | 2.1 | 500 |
| EV‑M802N | 80,000 | ＜1 | 2.8 | 650 |
冷却：水冷 3–8 L/min；噪声：约 65–72 dBA。
高负载耐腐
标准耐腐材质（铝 + 不锈钢），可处理 Cl₂、HF、NF₃、硅烷等腐蚀性气体。
专有高温控技术，抑制副产物（如 NH₄Cl）沉积，适合连续高负荷制程。
节能明显
相比传统 EST 系列省电约 50%；配怠速 / 待机模式，空载功耗更低。
50/60Hz 下性能一致，全球通用。
抽气性能优
多级罗茨设计，氢气（H₂）抽速高于螺杆干泵，处理轻气 / 大量载气更有优势。
极限真空＜1 Pa，满足高真空制程要求。
洁净 + 易维护
无油设计，无油雾污染，适合洁净室
模块化结构，维护周期长，备件少；支持远程监控 / 预警。
半导体：CVD（LPCVD/PECVD/HDP‑CVD）、ALD、RTP、刻蚀、扩散。
光伏 / 显示：薄膜沉积、PECVD、TCO 镀膜、OLED 制程。
工业：需要无油 + 耐腐 + 高抽速的自动化真空设备（如真空镀膜、精密脱气）。
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