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| 品牌 | EBARA/荏原 | 供货周期 | 现货 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 化工,能源,电子/电池,汽车及零部件,电气 |
华南一级代理EBARA 荏原EVM505SF罗茨式干泵
华南一级代理EBARA 荏原EVM505SF罗茨式干泵
小流量（研发 / 中试）：EV‑M20N、EV‑M102N
中流量（量产主流）：EV‑M202N、EV‑M302N、EV‑M502N、EV‑M802N
大流量（**量产）：EV‑M1202N、EV‑M1205SF（空冷加强型）
| 型号 | 抽速 (L/min) | 极限真空 | 电机功率 (kW) | 重量 (kg) |
|---|---|---|---|---|
| EV‑M20N | 108/130 | ≤0.01Pa | 1.5 | 170 |
| EV‑M202N | 2,000/2,400 | ≤0.01Pa | 5.5 | 360 |
| EV‑M502N | 5,000/6,000 | ≤0.01Pa | 11 | 500 |
| EV‑M802N | 8,000/9,600 | ≤0.01Pa | 15 | 650 |
| EV‑M1205SF | 12,000/14,400 | ≤0.01Pa | 22 | 800 |
高负载耐腐：标准镍合金流路，耐受 HF、Cl₂等腐蚀气体；高温制程稳定，抗副产物粉尘能力强。
超节能：智能转速控制 + 怠速 / 休眠，比同级干泵省电 **≈40%**；轻负载功耗低。
高洁净无油：多级罗茨转子无接触、无油，无磨损、免维护，符合 SEMI‑S2、CE、NRTL。
宽频适配：50/60Hz 通用，全球电压兼容（200–440V）。
智能控制：LCD 控制器，预警 / 报警存储，可编程阈值，支持远程监控。
半导体：ALD、LPCVD、MOCVD、刻蚀、PECVD、PVD
面板 / 光伏：薄膜沉积、清洗、真空传输
科研 / 工业：高真空镀膜、精密退火、特种气体输送
| 系列 | EV‑S（罗茨） | EV‑M（多级罗茨） | EV‑X（多级罗茨 / 螺杆） |
|---|---|---|---|
| 定位 | 轻负荷 / 洁净 | 中高负荷 / 腐蚀 | 中负荷 / 中腐蚀 |
| 抽速 | 1,670L/min | 108–14,400L/min | 3,000–30,000L/min |
| 极限真空 | 3Pa | ≤0.01Pa | 0.5Pa |
| 价格 | 3.8 万起 | 5.5 万起 | 4.5 万起 |
| 适合 | Load Lock / 分析仪器 | 刻蚀 / CVD / 高腐蚀 | 刻蚀 / CVD / 中副产物 |
研发 / 小腔室 / 预算紧：选EV‑M20N。
半导体量产 / 中高腐蚀：选EV‑M202N/EV‑M302N。
高负载 / 大流量 / 氢气制程：选EV‑M502N/EV‑M802N。
空冷需求 / 无水源：选EV‑M1205SF。
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