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Osaka Vacuum大阪真空干式真空泵无油清洁型

简要描述:Osaka Vacuum大阪真空干式真空泵无油清洁型
干式真空泵(无油清洁型)全系列详细介绍 大阪真空干式泵全部为无油、干式、清洁型真空泵,主打半导体、FPD、锂电、镀膜、精密真空制程,分为螺杆式、爪式、涡旋式、多级罗茨干式四大主力系列,和他家分子泵配套组成高真空完整真空机组

基础信息

产品型号

DSP-50

厂商性质

经销商

更新时间

2026-06-11

浏览次数

40
详细介绍
品牌OSAKA/大阪真空供货周期两周
应用领域化工,能源,电子/电池,汽车及零部件,电气

Osaka Vacuum大阪真空干式真空泵无油清洁型
Osaka Vacuum大阪真空干式真空泵无油清洁型
OSAKA VACUUM 大阪真空机器制作所,日本老牌专业真空厂商,日系小型干式螺杆泵biao杆;DSP 系列是紧凑型便携无油干泵产品线,DSP-50为该系列最小入门机型,主打洁净无油粗抽,适配半导体小型腔体、检测设备前级泵场景。

  1. 全程无油,0污染

    无同步齿轮、泵腔不注润滑油,无油蒸汽返流风险,不会污染晶圆腔体、光学膜层,wan美匹配半导体洁净制程,不会出现油封泵返油报废工件问题。

  2. 安装极简,即插即用

    纯风冷设计,不用水冷管路、冷却水塔,仅接入电源即可开机;体积小巧带手提把手,可立式 / 卧式任意姿态装机,设备集成紧凑化shou选。

  3. 极低运维成本

    无润滑油、无易损油封件,几乎免定期保养;标配气镇,可抽取含水蒸气、少量溶剂气体,不会像油泵油液乳化失效。

  4. 大气压抽气快

    内置旁通阀,常压段抽气速率高,小型真空腔、Loadlock 装载室快速起抽,缩短待机节拍。

防腐专用系列(半导体刻蚀 / 沉积专用)

  • 转子 + 腔体做特氟龙涂层、耐氟 / 氯 / 酸性气体

  • 专门应对刻蚀、PECVD、蚀刻废气、副产物粉尘

  • 大阪真空干式泵防腐版本在日系品牌里口碑ji强


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