Osaka Vacuum大阪真空涡旋式干式真空泵
简要描述：Osaka Vacuum大阪真空涡旋式干式真空泵干式真空泵（无油清洁型）全系列详细介绍 大阪真空干式泵全部为无油、干式、清洁型真空泵，主打半导体、FPD、锂电、镀膜、精密真空制程，分为螺杆式、爪式、涡旋式、多级罗茨干式四大主力系列，和他家分子泵配套组成高真空完整真空机组。
详细介绍
| 品牌 | OSAKA/大阪真空 | 供货周期 | 两周 |
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| 应用领域 | 化工,能源,电子/电池,汽车及零部件,电气 | | |
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Osaka Vacuum大阪真空涡旋式干式真空泵
Osaka Vacuum大阪真空涡旋式干式真空泵
SDP 系列 螺杆式干式真空泵（主力爆款，半导体通用）
原理
双螺杆转子无接触啮合，wan全无油，压缩比高、排气量大、耐腐蚀、低粉尘堆积。
主流型号（抽速 m³/h）
核心特点
无油清洁，无返油污染，满足半导体洁净要求
可耐轻微粉尘、酸性 / 腐蚀性气体（刻蚀、CVD）
水冷 / 风冷可选，低噪音、低振动
支持 EtherCAT / RS485，可接入自动化产线
适用
PVD、CVD、刻蚀、晶圆制程、真空镀膜、锂电注液 / 烘烤
二、CDP 系列 爪式干式真空泵（紧凑型、小型腔体**）
原理
主流型号
核心特点
体积紧凑，适合设备内置、小型真空腔体
无油，低粉尘耐受性，日常维护简单
性价比高，中小型真空设备标配
适用
三、VDP 系列 涡旋式干式真空泵（超高洁净、微流量精密型）
原理
涡旋盘压缩，真正无油、无磨损、零微粒，洁净等级*高。
主流型号
核心特点
超洁净，几乎无颗粒产生，适合超精密制程
振动极低、噪音小
小抽速，用于前级预抽、腔体粗抽
适用
**半导体、超高真**级泵、质谱、分析仪器、光刻配套
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