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| 品牌 | OSAKA/大阪真空 | 供货周期 | 两周 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 化工,能源,电子/电池,汽车及零部件,电气 |
日本进口大阪真空Osaka Vacuum涡轮分子泵
日本进口大阪真空Osaka Vacuum涡轮分子泵
大阪真空(Osaka Vacuum)TG‑F 系列涡轮分子泵
TG‑F 系列是大阪真空(Osaka Vacuum)脂润滑滚珠轴承型涡轮分子泵,自1999年上市以来为经典主力机型,排气速度覆盖 50~2400 L/s,主打紧凑坚固、任意安装、耐大气冲击、免维护,适配可搬式设备与振动/移动工况,广泛用于光学、显示、半导体、理化仪器、能源、医疗等领域。
• 轴承类型:脂润滑滚珠轴承(区别于磁悬浮/油润滑)
• 结构特点:一体化转子+上下滚珠轴承+冷却流道,抗冲击、低振动
• 运行模式:高转速、高真空、宽压力区间(10⁻¹~10⁻⁷ Pa)
任意姿态安装:垂直、水平、倒立均可运行,无方向限制,适配复杂管路与移动设备。
• 耐大气冲击:强化转子/轴承结构,可承受400次以上连续大气冲入,适配频繁启停、腔体开门/维修场景。
• 长寿命免维护:无需补充润滑脂,大修周期2~3万小时,设计寿命>10万小时,支持24/7连续运行。
• 紧凑轻量化:同级别重量比磁悬浮泵轻30%+,适合空间受限与移动设备。
• 高排气速度+高压缩比:N₂*高2400 L/s,H₂*高1300 L/s;N₂压缩比1×10⁸,H₂达4.3×10³。
• 快速启停:启动时间5.5~9 min,停机时间12~32 min(依型号)。
• 低基础压力:极限真空<1×10⁻⁶ Pa(7.5×10⁻⁹ Torr)。
• 气体适配:标准型支持N₂、Ar、H₂等惰性/常规气体;腐蚀性气体可选TG‑M/TG化学兼容系列。
• 冷却方式:风冷(A)/水冷(W)可选,水冷适配高负载/高温环境。
• 法兰规格:VG、ISO‑B、CF 三种标准法兰,适配主流真空接口。
• 专用控制器:TC1103/TC1104,集成驱动、保护、显示功能。
• 通讯接口:标配RS232C,支持远程监控与参数配置。
• **认证:CE、SEMI‑S2、NRTL,符合工业**标准。
代码 | 含义 | 可选值 |
TG | 系列代号(涡轮分子泵) | TG |
1400 | 排气速度(L/s,N₂) | 220/350/450/800/1100/1400/2400 |
F | 轴承类型(脂润滑滚珠) | F |
B | 入口法兰 | FV=VG200;FB=ISO‑B200;FC=CF200 |
W | 冷却方式 | A=风冷;W=水冷 |
B | 其他配置 | 标准/定制 |
• TG1100FBWB:ISO‑B200法兰+水冷,排气速度1100 L/s
• TG1400FCAB:CF200法兰+风冷,排气速度1400 L/s
型号 | 排气速度(L/s,N₂) | 排气速度(L/s,H₂) | 极限真空(Pa) | 压缩比(N₂) | 压缩比(H₂) | *大流量(sccm) | 启动时间(min) | 停机时间(min) |
TG220F | 220 | 130 | <1×10⁻⁶ | 1×10⁸ | 4.3×10³ | 150 | 5.5~7 | 12~18 |
TG350F | 350 | 210 | <1×10⁻⁶ | 1×10⁸ | 4.3×10³ | 180 | 5.5~7 | 12~18 |
TG450F | 450 | 270 | <1×10⁻⁶ | 1×10⁸ | 4.3×10³ | 220 | 5.5~7 | 15~20 |
TG800F | 850 | 510 | <1×10⁻⁶ | 1×10⁸ | 4.3×10³ | 330 | 7~9 | 20~25 |
TG1100F | 1100 | 660 | <1×10⁻⁶ | 1×10⁸ | 4.3×10³ | 330 | 7~9 | 20~25 |
TG1400F | 1400 | 840 | <1×10⁻⁶ | 1×10⁸ | 4.3×10³ | 450 | 5.5~7 | 25~30 |
TG2400F | 2400 | 1300 | <1×10⁻⁶ | 1×10⁸ | 4.3×10³ | 860 | 5.5~7 | 30~32 |
参数名称 | 通用规格 | 分型号差异(依排气速度) |
材质 | 泵体:不锈钢;转子:铝合金 | 无差异 |
重量(kg) | 27~50 kg | TG220F/TG350F:27-32;TG450F/TG800F:32-40;TG1100F/TG1400F:40-45;TG2400F:45-50 |
转速(rpm) | 24000~36000 | TG220F/TG350F:36000;TG450F/TG800F:30000;TG1100F/TG1400F:28000;TG2400F:24000 |
电源 | AC200~230 V(±10%),50/60 Hz,单相 | 无差异 |
冷却条件(风冷) | 环境温度10~32℃,风扇通风良好 | 无差异 |
冷却条件(水冷) | 水温10~35℃(*优<30℃),流量5~10 L/min | TG2400F:流量建议8~10 L/min,其余5~8 L/min |
前级泵要求 | 推荐≥250 L/min 干式/油旋片泵,极限压力<330 Pa | TG2400F:推荐≥300 L/min 前级泵 |
入口法兰尺寸 | VG200/ISO‑B200/CF200 | 无差异(可按需选择) |
出口法兰尺寸 | NW40(全型号统一) | 无差异 |
核心组件:上方轴承、主轴、下方轴承、冷却流道、涡轮转子、定子叶片
轴承系统:双滚珠轴承+脂润滑,支撑高速主轴,降低振动与磨损
型号 | 高度(mm) | 直径(mm) | 入口法兰直径(mm) | 出口法兰直径(mm) | 对应尺寸图编号 |
TG220F | 280 | 220 | VG200(200)/ISO‑B200(285)/CF200(253) | 40 | TG-F-001 |
TG350F | 290 | 230 | VG200(200)/ISO‑B200(285)/CF200(253) | 40 | TG-F-002 |
TG450F | 300 | 240 | VG200(200)/ISO‑B200(285)/CF200(253) | 40 | TG-F-003 |
TG800F | 310 | 245 | VG200(200)/ISO‑B200(285)/CF200(253) | 40 | TG-F-004 |
TG1100F | 315 | 248 | VG200(200)/ISO‑B200(285)/CF200(253) | 40 | TG-F-005 |
TG1400F | 320 | 250 | VG200(200)/ISO‑B200(285)/CF200(253) | 40 | TG-F-006 |
TG2400F | 350 | 280 | VG200(200)/ISO‑B200(285)/CF200(253) | 40 | TG-F-007 |
3. 尺寸图清单(可直接插入Word/PDF,对应上述尺寸表)
• TG-F-001:TG220F 尺寸图(含安装孔位置、法兰细节、整体轮廓)
• TG-F-002:TG350F 尺寸图(含安装孔位置、法兰细节、整体轮廓)
• TG-F-003:TG450F 尺寸图(含安装孔位置、法兰细节、整体轮廓)
• TG-F-004:TG800F 尺寸图(含安装孔位置、法兰细节、整体轮廓)
• TG-F-005:TG1100F 尺寸图(含安装孔位置、法兰细节、整体轮廓)
• TG-F-006:TG1400F 尺寸图(含安装孔位置、法兰细节、整体轮廓)
• TG-F-007:TG2400F 尺寸图(含安装孔位置、法兰细节、整体轮廓)
• TG-F-008:控制器(TC1103/TC1104)尺寸图(19英寸机架适配,安装孔距)