日本进口大阪真空Osaka Vacuum涡轮分子泵
日本进口大阪真空Osaka Vacuum涡轮分子泵

大阪真空（Osaka Vacuum）TGkine 系列涡轮分子泵 

一、产品概述

核心定位

• 轴承类型：磁悬浮轴承（无接触、无油润滑，区别于 TG‑F/TG‑M 系列脂润滑轴承）

• 结构特点：复合涡轮 + 牵引级结构、磁悬浮转子系统、内置控制器、耐腐蚀腔体涂层、高效冷却流道

• 运行模式：高转速、高真空、大流量区间（10⁻¹～10⁻⁸ Pa），适配惰性 / 腐蚀性 / 大流量气体介质

二、核心特性

1. 无油清洁真空（磁悬浮核心优势）

2. 超高排气性能与大流量能力

• 排气速度：N₂*高 3400 L/s，H₂*高 2700 L/s，大流量工况下抽速稳定；

• 压缩比：N₂＞1×10⁸，H₂达 3×10³，强压缩比适配轻气体（H₂/He）高效抽排；

• 极限真空：＜2×10⁻⁷ Pa（1.5×10⁻⁹ Torr），超高真空稳定性优异；

• 大气体流量：N₂*大 2600 sccm，适配 CVD、刻蚀等大流量工艺。

3. 耐腐蚀性与长寿命设计

• 腔体与转子：耐腐合金 + PTFE 涂层，兼容 Cl₂、HF、HBr、NF₃等半导体腐蚀性工艺气体；

• 磁悬浮系统：无机械磨损，设计寿命＞20 万小时，大修周期 5～8 万小时，支持 24/7 连续运行；

• 抗冲击能力：强化磁悬浮控制算法，可承受500 次以上大气冲入，适配频繁开门 / 维修场景。

4. 智能集成与便捷运维

• 控制器一体设计：泵体集成驱动 / 控制单元，无需外接控制器，节省安装空间，支持参数自动存储与数据迁移（更换控制器不丢数据）；

• 多重通讯：标配 EtherCAT/RS232C/DI‑DO，兼容工业总线，支持远程监控、参数配置与故障诊断；

• 智能预警：内置振动 / 温度 / 转速传感器，实时监测运行状态，提前预警轴承异常、过热、过载，降低停机风险。

5. 安装自由度与紧凑轻量化

• 任意姿态安装：垂直、水平、倒立均可稳定运行，无方向限制，适配复杂管路与设备集成；

• 紧凑轻量化：同级别磁悬浮泵中体积*小、重量*轻（64～65 kg），节省设备空间，适配可搬式与移动工况。

6. 节能与**认证

• 省电设计：磁悬浮低功耗驱动，比传统分子泵节能 30%+，长期运行成本低；

• **认证：CE、SEMI‑S2、NRTL，符合半导体工业**标准，适配高危腐蚀与高压工艺环境。