简要描述：EBARA荏原ESA系列多级罗茨干式真空泵
ESA 系列 = EBARA 荏原 多级罗茨式干泵 结构：两级主泵 + 罗茨增压，真空侧wan全无油 抽速：1,400～70,000 L/min（84～4,200 m³/h） 极限真空：0.13～400 Pa（0.0013～4 mbar） 冷却：水冷（全系列） 一句话：氢气 / 轻气体*强干泵 + 大腔体超快粗抽；MO‑CVD *标配、面板 / 光伏

EBARA荏原ESA系列多级罗茨干式真空泵
EBARA荏原ESA系列多级罗茨干式真空泵

主力型号 + 关键参数（50 Hz，N₂）

✅ 1）轻气体型（MO‑CVD / 氢气工艺）

型号	抽速 (L/min)	极限真空 (Pa)	功率 (kW)	重量 (kg)	进气口
ESA15‑D	1,400	400	2.9	～120	NW40
ESA25‑D	2,500	5.3	3.0	～150	NW40
ESA70W‑D	7,000	0.6	5.2	～220	NW50
ESA70WN‑D	7,000	0.4	5.2	～230	NW50

✅ 2）大流量型（面板 / 光伏 Load Lock / 大腔）

型号	抽速 (L/min)	极限真空 (Pa)	功率 (kW)	重量 (kg)	进气口
ESA100W	10,000	0.6	7.5	～300	ISO80
ESA200W	20,000	0.6	15	～450	ISO100
ESA300W	30,000	0.53	22	～600	ISO160
ESA500W	50,000	0.6	37	～900	ISO160
ESA700W	70,000	0.6	55	～1,300	ISO200

✅ 三、核心特点（和 EST / EV‑M / 竞品差异）

1. 氢气 / 轻气体效率***

   专用转子型线，氢气抽速比普通干泵高 30%+；MO‑CVD（GaN/LED）****标配
2. 大腔体超快粗抽（Load Lock **）

   高压缩比 + 大抽速，大气压 → 1 Pa 仅需 2～3 分钟；面板 / 光伏大腔 Load Lock 节拍提升 40%+
3. 洁净无油 + 耐蚀长寿命

   真空侧wan全无油；泵腔NiResist 高镍耐蚀铸铁，标配N₂ 吹扫；可处理微量 Cl₂、NH₃、HF；维护周期 ≥20,000 小时
4. 智能变频 + 超低能耗

   内置智能怠速 / 变频，负载低时自动降速；比定频节能 30%+；支持远程监控 / 联锁
5. 低噪低振 + 洁净室友好

   大型号噪音 **≤65 dB**、振动极低；底座带减震，直接放洁净室；SEMI S2 / CE / NRTL 认证

🏭 四、运用场景 + 行业（*核心）

1）半导体（MO‑CVD **主力）

• MO‑CVD（GaN / LED / 功率半导体）：*市占 70%+，氢气 + 金属有机气体

• Load Lock / 传输腔（300mm 晶圆线）：快速粗抽 + 维持

• LPCVD / PECVD / 刻蚀：前级泵（无粉尘工况）

• MOCVD 专用：ESA25‑D / ESA70W‑D 是行业标准

2）显示面板（LCD / OLED / Mini‑LED）

• 大尺寸 Load Lock / 传输腔：ESA200W / ESA300W 标配

• 溅射（Sputtering）/ 蒸镀：前级 + 主抽

• 真空干燥 / 脱气：大腔体快速抽真空

3）光伏（硅片 / 电池片 / 组件）

• 大腔 Load Lock / 扩散炉 / PECVD：ESA100W / ESA200W

• 硅片真空清洗 / 干燥：大流量、低振动

• 组件层压机：真空源 + 快速抽气

4）化工 / 新能源（氢气 / 锂电）

• 氢气提纯 / 回收：轻气体专用

• 锂电 / 钠电正极真空干燥：无油、低污染

• 精细化工蒸馏 / 脱气：耐腐蚀、长寿命

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