简要描述：日本进口ULVAC爱发科 UR多级罗茨干式真空泵
UR 是HR 系列升级顶配款，爱发科半导体最严苛腐蚀 / 高沉积工艺旗舰干泵，定位超高温全域均热、顶级防腐、重粉尘高卤素工况，对标 HR 但温控、防腐、防沉积能力全面拉满，专用于 ALD、重沉积 CVD、大产能干法刻蚀、长晶炉等高粉尘强腐蚀产线

一、核心定位：LR / HR / UR 三级温控区分

二、UR 系列主流型号参数表

三、UR 核心技术（对比 HR 优势）

1. 全域超高温均热 + 进出口管路伴热一体化

1. 全多级转子腔体恒温150~200℃，高于 HR 最高 150℃阈值；

2. 进气口、泵腔、排气段全程同步控温，支持外接排气管伴热；

3. 杜绝 NH₄Cl、金属氟化物、硅氯化物低温冷凝结块，HR 无外置管路伴热功能，重沉积工艺极易堵泵；

4. 连续 24h 量产运行，泵腔积粉量比 HR 降低 70% 以上，大幅拉长保养周期。

2. 顶级强化防腐系统

1. 转子、气缸、各级隔板采用双层超硬防腐涂层，耐 HF、HCl、Cl₂、各类卤素腐蚀介质；HR 仅单层防腐涂层；

2. 全段多级分段氦气屏蔽轴封，轴封吹扫氮气流量比 HR 提升 40%，阻挡粉尘侵入轴承；

3. 全封闭屏蔽防爆电机（Canned Motor），真空腔与润滑油腔隔离，零介质泄漏风险，适配晶圆洁净防爆车间。

3. 高粉尘耐受结构

• 罗茨转子加大间隙设计，不易卡粉；

• 各级腔体预留吹扫分支，可分段通入高纯 N₂冲刷沉积粉体；

• 大口径进出气法兰，不易堵管，适配硅长晶、多晶硅 CVD 超大粉尘工况。

4. 产线工业级配套功能

1. 1000ms 电网瞬停保护：突发断电恢复后自动重启，刻蚀 / ALD 连续生产不宕机；

2. 标配 RS485 工业通讯，可远程读取温度、真空、吹扫流量、累计运行时长、故障代码；

3. 可选 ECO-SHOCK 节能模块：极限真空待机工况节电最高 80%，大幅降低大厂电费；

4. 一体式加厚消音箱体，运行噪音 70~74dB (A)，支持洁净车间就近摆放；

5. 全机水冷强化回路，大流量冷却水通道，超高温工况不超温报警。

四、标准使用条件

1. 冷却水：水压 0.2~0.5MPa，最小流量≥6L/min，进水温度≤22℃（水温过高会削弱超高温均热效果）；

2. 吹扫介质：干燥高纯氮气，总吹扫流量 8~12SLM（高于 HR 的 5SLM）；

3. 前端必须配套工艺粉尘过滤器，禁止无过滤直抽高浓度粉体；

4. 环境：Class1000/10000 半导体洁净厂房，通风良好，废气管路全程保温伴热。

五、专属应用场景（HR 无法替代）

1. 先进半导体前端制程（核心）

• ALD 原子层沉积（氧化铝、氮化铝等高升华副产物工艺）

• LPCVD 多晶硅、氮化硅、氧化硅批量沉积（大量硅粉尘 + 氯化铵）

• 金属层干法刻蚀、高深宽比通孔刻蚀（高氟 / 氯腐蚀气体）

• 硅单晶长晶炉、外延炉排气（超大流量硅粉体）

• 第三代半导体 SiC/GaN 刻蚀、薄膜沉积

2. 显示 / 光伏产线

3. 科研重型真空设备

六、UR / HR / LR / LS 选型速判

1. 选 UR：ALD、LPCVD 多晶、金属刻蚀、硅长晶、副产物易升华结块、需要排气管伴热、24h 重度腐蚀量产线

2. 选 HR：常规 PECVD、硅刻蚀、等离子灰化，无大量氯化铵沉积、无需管路伴热

3. 选 LR：PVD 溅射、Loadlock 预抽、分子泵前级、洁净无腐蚀氮气 / 空气工艺

4. 选 LS 螺杆：锂电烘烤、冻干、通用干燥、追求静音低功耗，无腐蚀粉尘