简要描述：日本进口ULVAC爱发科 PRC机械增压罗茨泵
HR/UR/LR/LS = 前级主抽干泵（可单独从大气压抽真空）
PRC = 增压罗茨泵（机械增压泵 MBP），不能单独使用，必须搭配 LS/LR/HR/UR/ 油旋片等前级泵串联，用来中段大幅提升中真空抽速，专门配套半导体、光学镀膜高洁净产线

一、主流型号基础参数

二、PRC核心技术（和普通 PMB 罗茨最大差异）

1. 屏蔽式密封电机（Canned Motor）

2. 泵腔全干式无油

3. 整机硬质阳极氧化防腐涂层

4. 可选大气压直启型（配变频器）

5. 低震动、低噪音一体化水冷

三、标准配套机组方案

1. 光学 / 显示镀膜：LS120/300（前级干泵）+ PRC 增压泵 → 溅射、蒸镀、离子镀大腔体快速抽气

2. 半导体 Loadlock 预抽：LR 系列 + PRC → 多腔体并行预抽，缩短换片等待时间

3. CVD / 刻蚀中真空段提速：HR/UR 腐蚀干泵 + PRC，解决 10~1000Pa 区间抽速不足问题

4. 冻干、真空脱泡：油旋片泵 + PRC，大流量水汽快速排出

四、适用场景

高洁净半导体 / 光电（主力）

工业精密真空

五、PRC vs PMB 通用罗茨泵对比

1. PRC：屏蔽电机、无轴封、超高洁净、全水冷、进口，半导体精密工艺专用，成本更高

2. PMB：普通贯穿轴封电机、有空冷可选、价格更低，通用工业、无高洁净要求工况

六、PRC 与 HR/UR/LS 系列本质区别

1. PRC（增压泵）：只能串联使用，作用是放大中真空抽速，不能单独抽大气

2. LS 螺杆干泵：独立前级泵，大气压直抽，静音节能，洁净 / 轻工艺

3. LR 标准多级罗茨：独立前级泵，洁净镀膜、无腐蚀工况

4. HR 高温多级罗茨：独立前级泵，标准 CVD / 刻蚀，高温防沉积

5. UR 超高温多级罗茨：独立前级泵，重度腐蚀 ALD、多晶硅 LPCVD

七、使用条件

1. 冷却水：流量≥2L/min，进水温度 5~30℃

2. 不可单独空载运行，必须搭配匹配抽速前级泵联动控制

3. 前端建议加装粉尘过滤器，防止颗粒进入转子间隙卡泵

4. 无分段氮气吹扫，不可直接抽取高浓度强酸、大量硅粉尘（腐蚀工艺请用 HR/UR 做主泵）