简要描述：日本进口ULVAC爱发科GR多级罗茨干式真空泵
GR 是LR 洁净系列简化经济型版本，依托 LR 成熟多级罗茨平台做成本精简，主打通用工业、Loadlock 装载腔、洁净无腐蚀工况，无高温均热、无强防腐配置，价格远低于 LR/HR/UR，适合反复大气抽真空的高负荷量产工位，可独立直抽大气，不需要搭配前级

核心型号参数表

三、GR 核心特点（对比 LR/HR 关键差异）

1. 结构简化、性价比高

• 普通开放式感应电机（非 LR 屏蔽电机），可选防爆电机；无昂贵氦气轴封屏蔽结构

• 无腔体恒温加热系统，无高温防凝能力，不能抽易冷凝、卤素、硅粉尘工艺气体

• 转子仅标准 DRP 基础阳极氧化涂层，仅耐受洁净空气、氮气，轻微水汽

• 控制系统简化，无 ECO-SHOCK 节能模块、无精密分段氮气吹扫回路

2. 耐高频反复抽气（核心优势）

3. 全干式无油洁净

4. 维护简单、运维成本低

四、适用场景（严格区分使用边界）

1. 半导体 / 显示中低端洁净制程

• 镀膜设备 Loadlock 装载腔预抽（PVD、蒸镀、光学膜层）

• 芯片封装、真空检漏、器件脱气

• 无刻蚀 / CVD、无腐蚀副产物的洁净工位

2. 通用工业量产

• 锂电池真空烘烤、气体置换、真空脱泡

• 光伏基板清洗、真空热处理、真空干燥

• 实验室洁净腔体、真空包装、树脂脱气

❌ 禁止使用场景

1. 含氟 / 氯卤素、硅粉尘、氯化铵升华物（刻蚀、CVD、ALD 禁用，需 HR/UR）

2. 大量有机溶剂、高水汽、强酸工况（选 LS-L 或 HR）

3. 需要超高洁净、零泄漏晶圆先进制程（选 LR 屏蔽电机款）

五、GR / LR / LS / HR / PRC 选型速分

1. GR：经济型多级罗茨、无恒温、普通电机、Loadlock 通用工业、预算有限洁净工况

2. LR：洁净屏蔽电机、低温均热、 PVD / 光学镀膜、无腐蚀精密产线

3. LS：螺杆式、静音省电、干燥 / 冻干、小腔体预抽

4. HR：高温均热、防腐、常规刻蚀 / PECVD

5. UR：超高温全段伴热、重度腐蚀、ALD/LPCVD 多晶硅

6. PRC：机械增压泵，不可单独使用，搭配主泵提升中真空抽速

六、标准使用条件

1. 冷却水：流量≥4.5L/min，进水温度≤28℃，水温过高会导致泵体升温、极限真空变差

2. 吹扫：仅简易单路氮气吹扫（可选配件），无多级分段吹扫，不可处理粉尘

3. 进气要求：只能抽取干燥洁净空气、氮气；前端必须加装粉尘过滤器

4. 环境：普通洁净车间，禁止酸碱废气、高湿度密闭环境