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ULVAC爱发科CR风冷紧凑型罗茨干式真空泵

简要描述:ULVAC爱发科CR风冷紧凑型罗茨干式真空泵
CR 是全风冷小型干泵,轻量化、无需冷却水、不用轴封氮气,主打小型设备、实验室、中小型镀膜、小型腔体预抽;独立直抽大气,体积远小于 GR/LR 水冷机型,安装无水路配套成本,经济型洁净干泵,无高温防腐能力。

基础信息

产品型号

CR30B

厂商性质

经销商

更新时间

2026-06-30

浏览次数

14
详细介绍
品牌ULVAC/日本爱发科供货周期两周
应用领域化工,能源,电子/电池,汽车及零部件,电气

ULVAC爱发科CR风冷紧凑型罗茨干式真空泵
ULVAC爱发科CR风冷紧凑型罗茨干式真空泵
主流型号完整参数表(Ver.B 新款)

型号50Hz 抽速 (m³/h)极限真空 (Pa)电机功率法兰整机重量供电冷却
CR16B16≤30.72kWKF2535kg单相 100/200V风冷
CR30B30≤0.51.5kWKF4048kg单 / 三相 200V风冷
CR60B-S/T55≤31.5kWKF4048kgS 单相 / T 三相风冷
CR300B300≤0.53.0kWKF50100kg三相 200V风冷

关键通用规格

  1. 内置气镇阀,最大耐受水汽 500g/h,可抽轻度水蒸气;

  2. 标配一体式消音器,运行噪音 60~66dB (A);

  3. 自带静音万向脚轮,方便移动摆放;

  4. 标准 RS485 远程通讯、运行计时、故障报警;

  5. 通过 CE、cTUVus 国际安全认证。

三、CR 系列核心优势(区别 GR/LR/LS)

1. 强制风冷,零水路配套(最大亮点)

GR/LR/HR/UR/LS 全部水冷,需要铺设冷却水、循环水机;CR 纯风冷,无需水管、水冷机、水路过滤器,小型设备、实验室直接落地即用,基建成本大幅降低。

2. 轻量化小型机身

最小 CR16B 仅 35kg,桌面 / 设备机架均可放置;同抽速下体积只有 GR 的 1/2,适配紧凑型设备集成。

3. 无持续氮气消耗

无轴封吹扫需求,仅气镇按需少量洁净干燥空气,长期运行气耗成本几乎为 0。

4. DC 屏蔽密封电机

真空腔与电机油腔隔离,杜绝油蒸气返流污染腔体,满足光学、小型半导体洁净需求。

5. 自带水汽处理气镇机构

抽含水汽工件、真空干燥时打开气镇,防止水蒸气在泵内冷凝乳化,适合小型低温干燥设备。

四、结构与短板(选型避坑)

  1. 无腔体加热恒温:不能抽硅粉、卤素、氯化物等易冷凝腐蚀气体,严禁 CVD / 刻蚀工艺;

  2. 防腐等级低:转子仅基础阳极氧化,只能抽洁净空气、氮气、微量水汽;

  3. 大流量长时间高负荷工况易升温,量产大型 Loadlock 不推荐,优先 GR/LR 水冷款;

  4. 无分段多级吹扫,不能处理粉尘工况,前端必须加装精密进气过滤器。

五、适用场景

1. 实验室 / 研发设备(主力)

小型溅射、实验室蒸镀、等离子清洗、样品真空脱气、检漏台、小型热处理炉

2. 中小型光电设备

小型光学镀膜、镜头蒸镀、小型 OLED 研发机、小腔体 Loadlock 预抽

3. 通用轻工小型产线

小型锂电池烘烤、小型真空干燥、树脂脱泡、真空包装、气体置换

4. 配套分子泵前级

搭配小型 TMP 分子泵机组,替代油旋片泵,实现全无油洁净真空系统














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