简要描述：ULVAC爱发科RS系列干泵专用排气消音器
RS不是真空泵主机，是全系干泵（CR/GR/LR/HR/UR/LS）配套排气降噪选配配件，不能单独抽真空，安装在干泵排气 NW40 法兰处，用于车间降噪处理

一、全型号规格与适配泵型

1. 三大基础型号

配套套件区分（Kit A/B/C/D）

• Kit A：小型罗茨 / 螺杆（CR60、GR90、LR300）单支安装

• Kit B：中大流量 LR600/1200，双消音并联

• Kit C：GR180、CR300 大机型配套

• Kit D：迷你 CR16/CR30 小型风冷干泵专用

二、核心结构与优势

1. 全不锈钢防腐腔体

   内壁做 GBB 防锈涂层，可耐受氮气、氩气、洁净工艺尾气，轻度水汽环境可用；严禁直接通入高浓度卤素、粉尘、强酸尾气（会堵塞吸音层）。

2. 卡箍快装接口（标准 NW40）

   无需焊接，直接对接干泵原厂排气法兰，拆装维护 5 分钟完成。

3. 多层复合吸音结构

   内部分流气道 + 耐高温吸音棉，不阻挡排气流量，加装后不会降低干泵抽速、极限真空。

4. 低占地立式筒型设计

   立式圆筒摆放，不占用设备操作空间，底部预留排水口，可收集冷凝微量水汽。

5. 洁净车间友好

   无粉尘脱落、无二次污染，适配半导体、光学无尘厂房环境。

三、降噪实测效果

四、使用限制（选型避坑）

1. 禁止工况

• 带大量硅粉、氯化物等腐蚀 / 粉尘工艺（HR/UR 刻蚀泵后端需加装粉尘过滤器后再接 RS，否则吸音层堵塞失效）；

• 高溶剂、高冷凝蒸汽长期直排；

• 易燃易爆工艺尾气不可使用。

2. 维护周期

   洁净工况 6~12 个月清理一次内部吸音棉；粉尘工况 3 个月定期拆洗，堵塞会造成泵排气背压升高、真空变差。

3. 安装要求

   立式摆放，底部排水孔朝下；排气管路避免弯折憋压。

五、配套搭配场景

1. 光学 / 显示产线：LR/LS 干泵 + RS 消音器，洁净车间降低噪音至 70dB 以内；

2. Loadlock 量产工位：GR 系列经济型干泵标配 RS-01；

3. 实验室小型设备：CR 风冷干泵搭配 RS-01 Kit D；

4. 中型镀膜线 LR600/1200：双支 RS-02 并联套件；

5. 腐蚀工艺 HR/UR 刻蚀泵：前端先装工艺过滤器，后端再接 RS 消音。