真空柔性软管（半导体主力产品）

1. NK‑2300 系列（高真空专用，半导体标配）

• NK‑2300KF：KF 法兰型真空软管（KF10‑KF50），SUS316L 管体、SUS304 法兰，漏率≤1.33×10⁻¹⁰ Pa・m³/s，适配高真空腔体、真空泵、镀膜设备

• NK‑2300V：JIS VG‑VF 法兰型，适配大型真空管路，用于半导体设备主抽气管道

• NK‑2300PT：管端式真空软管，超细口径（3.18‑12.7mm），适配设备内部微型真空管路，耐温‑196~300℃

2. NK‑FJP‑C 氟聚合物柔性软管

3. NK‑1200GS 多功能柔性软管

真空精密组件 / 辅助产品

1. 伸缩管接头：吸收热胀冷缩、安装误差、振动，防止管路断裂漏气，适配半导体产线长期运行

2. 真空吸嘴：晶圆真空搬运、吸附，适配半导体 EFEM 传送、晶圆台精密定位

3. 超薄不锈钢波纹管（0.15‑0.3mm）：半导体专用真空波纹管，超高洁净、低漏率，用于腔体密封、柔性连接

四、核心性能（适配半导体严苛要求）

• 漏率：≤1.33×10⁻¹⁰ Pa·m³/s，满足高真空制程

• 材质：SUS316L、PTFE、高纯氟橡胶，无金属离子析出、耐等离子体 / 腐蚀性气体

• 耐温：‑196℃~300℃，适配半导体高温工艺、低温冷却管路

• 洁净度：无粉尘、无残留，适配 Class1/10 洁净室

  NFK NK‑2300KF（KF 法兰式・半导体专用）全型号 + 完整参数

  NK‑2300KF 是半导体高真空标准款，两端标准 KF 快拆法兰，SUS316L 优先，超低漏率，适配刻蚀、镀膜、真空泵、真空腔体、晶圆设备。

  一、型号命名规则（直接采购格式）

  NK‑2300KF‑波纹类型‑材质‑KF 口径‑总长 L

  二、KF 全口径型号 & 尺寸表（原厂标准）

  KF 规格	软管内径	软管外径	法兰外径	板厚	半导体常用完整型号示例
  KF10	12.5mm	16.5mm	30mm	0.15mm	NK‑2300KF‑CLT‑316L‑10‑300
  KF16	21.5mm	28.5mm	30mm	0.20mm	NK‑2300KF‑CLT‑316L‑16‑500
  KF25	26.5mm	36.5mm	40mm	0.20mm	NK‑2300KF‑CLT‑316L‑25‑800
  KF40	41.5mm	54.0mm	55mm	0.25mm	NK‑2300KF‑CLT‑316L‑40‑1000
  KF50	50.5mm	65.0mm	75mm	0.25mm	NK‑2300KF‑CLT‑316L‑50‑1500

  三、通用性能参数（全系列一致）

  四、两大 波纹系列（半导体选型重点）

  1. NK‑2300KF‑CLT（超柔性）【半导体*常用】

  2. NK‑2300KF‑STD（标准波纹）

  五、半导体常用完整型号

• NK‑2300KF‑CLT‑316L‑KF10‑L300

• NK‑2300KF‑CLT‑316L‑KF16‑L500

• NK‑2300KF‑CLT‑316L‑KF25‑L800

• NK‑2300KF‑CLT‑316L‑KF40‑L1000

• NK‑2300KF‑STD‑316L‑KF50‑L1500

• 刚性更好、耐压更高、寿命更长

• 用于真空泵主管路、主抽气管道、设备外部大管路

• 波纹细密、弯曲半径小、柔韧性强

• 用于设备狭小空间、腔体内部、EFEM 晶圆传送管路

• 波纹类型：STD（标准波纹）、CLT（超柔性，半导体**）

• 材质：SUS316L（半导体专用）、SUS304

• KF 口径：KF10 / KF16 / KF25 / KF40 / KF50

• 长度：100–3000mm，可定制

1. 漏率：≤1.33×10⁻¹⁰ Pa・m³/s（氦检，半导体高真空标配）

2. 压力：FV（高真空）～0.1MPa

3. 温度：‑15℃～150℃（氟橡胶密封），SUS316L 可耐‑196℃～300℃

4. 流体：非腐蚀性气体、真空排气、高纯工艺气体

5. 用途：振动吸收、位移补偿、安装误差调节，不可承受扭转

6. 洁净度：电解抛光，无金属离子析出，适配 Class1/10 洁净室