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| 品牌 | NFK/南国工业 | 供货周期 | 一周 |
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日本进口NFK南国工业 NK系列真空柔性软管
日本进口NFK南国工业 NK系列真空柔性软管
NK‑2300KF:KF 法兰型真空软管(KF10‑KF50),SUS316L 管体、SUS304 法兰,漏率≤1.33×10⁻¹⁰ Pa・m³/s,适配高真空腔体、真空泵、镀膜设备
NK‑2300V:JIS VG‑VF 法兰型,适配大型真空管路,用于半导体设备主抽气管道
NK‑2300PT:管端式真空软管,超细口径(3.18‑12.7mm),适配设备内部微型真空管路,耐温‑196~300℃
伸缩管接头:吸收热胀冷缩、安装误差、振动,防止管路断裂漏气,适配半导体产线长期运行
真空吸嘴:晶圆真空搬运、吸附,适配半导体 EFEM 传送、晶圆台精密定位
超薄不锈钢波纹管(0.15‑0.3mm):半导体专用真空波纹管,超高洁净、低漏率,用于腔体密封、柔性连接
漏率:≤1.33×10⁻¹⁰ Pa·m³/s,满足高真空制程
材质:SUS316L、PTFE、高纯氟橡胶,无金属离子析出、耐等离子体 / 腐蚀性气体
耐温:‑196℃~300℃,适配半导体高温工艺、低温冷却管路
洁净度:无粉尘、无残留,适配 Class1/10 洁净室