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日本进口NFK南国工业 NK系列真空柔性软管

简要描述:日本进口NFK南国工业 NK系列真空柔性软管
NFK 南国工业(南国フレキ工業)半导体专用产品 NFK 南国工业核心为半导体真空管路、真空连接配件、高纯化学品输送管路、真空精密组件,适配半导体刻蚀、镀膜、晶圆传送、真空腔体、真空泵组、气体输送等高洁净、高真空工况,全部产品漏率极低、耐洁净耐腐蚀、适配 KF/ISO 标准。

基础信息

产品型号

NK-FJ-F

厂商性质

经销商

更新时间

2026-07-03

浏览次数

9
详细介绍
品牌NFK/南国工业供货周期一周

日本进口NFK南国工业 NK系列真空柔性软管
日本进口NFK南国工业 NK系列真空柔性软管

真空柔性软管(半导体主力产品)

1. NK‑2300 系列(高真空专用,半导体标配)

  • NK‑2300KF:KF 法兰型真空软管(KF10‑KF50),SUS316L 管体、SUS304 法兰,漏率≤1.33×10⁻¹⁰ Pa・m³/s,适配高真空腔体、真空泵、镀膜设备

  • NK‑2300V:JIS VG‑VF 法兰型,适配大型真空管路,用于半导体设备主抽气管道

  • NK‑2300PT:管端式真空软管,超细口径(3.18‑12.7mm),适配设备内部微型真空管路,耐温‑196~300℃

2. NK‑FJP‑C 氟聚合物柔性软管

PTFE/PFA 材质,耐强酸强碱、高纯洁净,用于半导体湿法清洗、高纯化学品输送、腐蚀性气体管路,内壁光滑无析出、易清洁

3. NK‑1200GS 多功能柔性软管

SUS304/SUS316L,适配半导体光学设备、检测仪器、真空环境管路

真空精密组件 / 辅助产品

  1. 伸缩管接头:吸收热胀冷缩、安装误差、振动,防止管路断裂漏气,适配半导体产线长期运行

  2. 真空吸嘴:晶圆真空搬运、吸附,适配半导体 EFEM 传送、晶圆台精密定位

  3. 超薄不锈钢波纹管(0.15‑0.3mm):半导体专用真空波纹管,超高洁净、低漏率,用于腔体密封、柔性连接

四、核心性能(适配半导体严苛要求)

  • 漏率:≤1.33×10⁻¹⁰ Pa·m³/s,满足高真空制程

  • 材质:SUS316L、PTFE、高纯氟橡胶,无金属离子析出、耐等离子体 / 腐蚀性气体

  • 耐温:‑196℃~300℃,适配半导体高温工艺、低温冷却管路

  • 洁净度:无粉尘、无残留,适配 Class1/10 洁净室







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