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| 品牌 | NFK/南国工业 | 供货周期 | 一周 |
|---|
日本NFK南国工业 Cvd设备专用真空软管法兰
日本NFK南国工业 Cvd设备专用真空软管法兰
| 波纹代号 | 特性 | 适用场景 |
|---|---|---|
| STD 标准波纹 | 刚度高、耐压强、柔性一般 | 高压蒸汽、冷却水、通用工业 |
| SA 高柔波纹 | 弯折幅度大、减振好 | 泵体、小型加热设备振动隔离 |
| CLT 超软波纹 | 极易弯曲、极小安装半径 | 真空腔体、狭小设备内部、微型载台 |
波纹管主体
SUS304：水、空气、蒸汽、中性气体，常规工况
SUS316L：弱酸、氯离子环境、半导体洁净真空
Inconel 625：高温腐蚀特种气体（定制款）
法兰材质
SS400 碳钢镀锌：常温清水、空气，低成本
SUS304（SCS13）：通用高温、洁净设备
SUS316L（SCS16）：腐蚀介质、半导体高纯管路
密封垫片
非石棉 T/#1995：常温水 / 空气（标配）
PTFE 包覆垫片：弱酸、180℃以内
柔性石墨垫片：高温蒸汽 400~600℃
Viton 氟橡胶：真空、油气、弱腐蚀气体
| 设备类型 | 推荐 NFK 法兰软管系列 | 波纹选型 | 法兰标准 |
|---|---|---|---|
| MTP 氮化铝 / MC 微型陶瓷加热台（真空腔体） | NK-2300KF（KF 真空法兰） | CLT 超软 | KF25/KF40 |
| PI 聚酰亚胺膜恒温真空腔体 | NK-2300V JIS 真空法兰 | CLT | JIS10K SUS304 |
| HI-SD 筒式加热器热压设备冷却水路 | NK-2500 双侧活法兰 | SA 高柔 | JIS10K SUS304 |
| 酸碱药液加热湿制程设备 | NK-FJ-F PTFE 内衬法兰 | STD | JIS10K SUS316L |
| 小型桌面 SBX-303 温控配套小型工装 | NK-3100 紧凑型法兰 | STD | JIS5K SUS304 |
日系 JIS 法兰标准，国内半导体设备通用对接，松套法兰安装无需对位校正
真空款低释气、低漏率，无有机涂层，匹配 AlN / 陶瓷高温洁净加热工位
多层编织网抗拉抗压，吸收热胀冷缩位移、隔绝泵 / 风机振动，保护加热腔体密封
无焊接 NK-6300 系列可单独更换波纹管，降低设备维护成本
全系列支持定制长度、双层加强编织、外置拉杆限位、绝缘护套
所有法兰金属软管禁止承受扭转力，安装预留轴向 / 径向位移余量
真空工况必须选 CLT 超软波纹、SUS316L 材质，搭配氟橡胶垫片，禁止普通橡胶
高温＞300℃工况选用石墨垫片、不锈钢法兰，碳钢法兰最高 250℃
管路长度＞1m 建议增加支撑固定，避免波纹管长期自重疲劳泄漏
半导体高真空系统优先 NK-2300KF KF 快拆法兰，拆装方便易清洁腔体
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