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日本进口TORAY东丽 氧化锆型氧浓度计传感器

简要描述:日本进口TORAY东丽 氧化锆型氧浓度计传感器
半导体制造过程中的氧污染会对产品质量产生显著影响。因此,氧气浓度计对于监测设备内部(包括前端和后端工艺)的气体成分至关重要。
我们的氧气浓度计,特别是能够进行真空环境测量的传感器分离式型号,集高性能、超快响应、多点测量和节省空间的设计于一体,因此被众多主流设备制造商广泛采用。

基础信息

产品型号

SD16NW

厂商性质

经销商

更新时间

2026-07-09

浏览次数

3
详细介绍
品牌TORAY/东丽价格区间面议
产地类别进口应用领域化工,能源,电子/电池,汽车及零部件,电气

日本进口TORAY东丽 氧化锆型氧浓度计传感器
日本进口TORAY东丽 氧化锆型氧浓度计传感器
我们独特的氧化锆传感器技术能够高精度、高可靠性地测量氧气浓度。它可用于监测制造设备腔室和加工车间内从痕量到 100% 的各种氧气浓度。

这款采用 EtherCAT 通信的氧浓度计 LD-600/SD 传感器专为包括真空设备在内的各种设备而开发,它充分利用了我们在半导体和电子行业氧浓度计制造方面积累的丰富经验。该产品
采用我们专有的紧凑型氧化锆传感器,可实现长时间稳定、高精度的测量,并内置氧传感器保护机制,使其耐用性远超传统产品。此外,其氧传感器与转换单元分离的设计,使其成为集成到需要更快处理速度的设备和应用中的理想之选。

产品特性

・支持EtherCAT通信。

它非常适合集成到使用 EtherCAT 通信的设备和应用程序中。

• 可进行节省空间的安装。

氧传感器与薄型换能器的分离大大降低了对安装位置的限制。

• 适用于真空环境

这种直接插入式传感器无需采样,即使在真空环境下也能进行测量。

超快响应

采用独立传感器可以实现最短响应时间。

• 高耐久性传感器

该传感器经过特殊涂层处理,以实现高耐用性。

*有关 SD 传感器的详细功能和规格,请参阅SD 传感器产品目录。

• 适用标准

CE认证:EN61010-1、EN61326-1
;RoHS指令:EN63000

SD 系列传感器探头型号表

传感器型号安装接口适配场景尺寸 / 重量
SD16NWNW16 ISO 真空法兰小型真空腔体、微型手套箱总长 100mm,约 0.2kg
SD25NWNW25 ISO 真空法兰半导体腔体、镀膜机、标准真空设备(通用主力款)总长 100mm,约 0.2kg
SD40NWNW40 ISO 真空法兰大型真空炉、大容积腔体总长 100mm,约 0.35kg
SDR38R3/8 外螺纹常压管道、回流焊、气氛炉、非真空炉体总长 100mm,约 0.2kg

二、LD-600 转换器主机规格表

主机型号通讯接口供电安装方式外形尺寸
LD-600EtherCAT(CoE/FoE)DC24V±10%壁挂 / 机架安装65×130×125mm,约 0.8kg

标准成套组合型号表(采购完整型号)

成套完整型号配置组合行业常用度
LD-600+SD16NWEtherCAT 主机 + NW16 真空探头小众小型腔体
LD-600+SD25NWEtherCAT 主机 + NW25 标准真空探头★★★★★ 半导体标配
LD-600+SD40NWEtherCAT 主机 + NW40 大口径真空探头大型真空炉专用
LD-600+SDR38EtherCAT 主机 + R3/8 螺纹常压探头回流焊、气氛炉

四、配套备件型号表

备件型号用途说明
SD 专用连接线标准 2m,可定制 3/5/10m 屏蔽线缆,连接主机与探头
SD-FILTER传感器前置粉尘、油污保护过滤器
NW 法兰密封套件NW16/NW25/NW40 卡箍、O 型圈、支架

五、核心基础参数简表

项目LD-600/SD 规格
测量量程0.001ppm ~ 100% O₂;氧分压 10⁻²⁰~1atm 自动切换
通讯协议EtherCAT ETG5003.1/5003.2,支持工业总线上位采集
预热时间≤6 分钟
响应速度≤1s(传感器独立响应)
样气温度0~100℃,探头短时耐腔体 600℃
合规认证CE、RoHS











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