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| 品牌 | TORAY/东丽 | 价格区间 | 面议 |
|---|---|---|---|
| 产地类别 | 进口 | 应用领域 | 化工,能源,电子/电池,汽车及零部件,电气 |
日本进口TORAY东丽 氧化锆多点氧气分析仪
日本进口TORAY东丽 氧化锆多点氧气分析仪
我们独特的氧化锆传感器技术能够高精度、高可靠性地测量氧气浓度。它可用于监测制造设备腔室和加工车间内从痕量到 100% 的各种氧气浓度。
MS-500/MS-510/SD系列多点氧浓度计专为包括真空系统在内的各种设备而开发，充分利用了我们在半导体和电子行业氧浓度计制造领域积累的丰富经验。该系列产品
配备了我们自主研发的紧凑型氧化锆传感器，可实现长时间稳定、高精度的测量，并具有氧传感器保护机制，其耐用性远超传统产品。此外，通过将氧传感器和转换单元分离，并增加多达八个检测点，可实现同步测量。凭借其简便的操作，该系列氧浓度计是集成到各种处理系统的理想之选。
单个控制器最多可同时测量 8 个点。
（可选配件：转换器/SD卡传感器套装）
它非常适合安装和集成到批量生产的机器中。
通过将传输输出更改为 LAN 规范，即可通过 LAN 连接器进行输出。
这种直接插入式传感器无需采样，即使在真空环境下也能进行测量。
采用独立传感器可以实现最短响应时间。
该传感器经过特殊涂层处理，以实现高耐用性。
・规格等
CE认证：EN61010-1、EN61326-1
RoHS指令：EN63000
一、SD 直插氧化锆传感器探头表
| 传感器型号 | 安装接口 | 适用场景 | 探头标准长度 |
|---|---|---|---|
| SD16NW | NW16 ISO 真空法兰 | 小型真空腔体、微型手套箱 | 100mm |
| SD25NW | NW25 ISO 真空法兰 | 半导体腔体、镀膜机、标准真空设备（主力常用） | 100mm |
| SD40NW | NW40 ISO 真空法兰 | 大型真空炉、大容积多腔设备 | 100mm |
MS-500 控制器 + MS-510 转换器单元表
| 部件型号 | 功能定位 | 供电 | 通讯 / 输出 | 安装方式 |
|---|---|---|---|---|
| MS-500 | 多点主控制器（最多接入 8 路 MS-510） | DC24V | RS232C、多路信号汇总显示 | 面板嵌入式安装 |
| MS-510 | 单通道转换单元（1 台配 1 支 SD 传感器） | DC24V | 4-20mA 模拟量，对接 MS-500 | 壁挂 / 设备侧装 |
| 备件型号 | 用途说明 |
|---|---|
| SD 专用屏蔽线缆 | 标准 2m，可定制 3/5/10m，连接 MS-510 与 SD 传感器 |
| SD-FILTER | 传感器前置粉尘、油污过滤保护组件 |
| NW 法兰密封套件 | NW16/NW25/NW40 卡箍、氟橡胶 O 圈、固定支架 |
| 项目 | MS-500/MS-510/SD 规格 |
|---|---|
| 测量原理 | 氧化锆浓差电池式 |
| 测量量程 | 0.001ppm ~ 100% O₂；氧分压 10⁻²⁰~1atm 自动量程切换 |
| 最大测点数 | 单台 MS-500 最多 8 点同步监测 |
| 预热时间 | ≤6 分钟 |
| 传感器响应速度 | ≤1s |
| 工作气源温度 | 传感器 0~100℃，短时耐受腔体 600℃ |
| 认证 | CE、RoHS |
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