产品中心

Product

当前位置:首页  /  产品中心  /    /  BROOKS布鲁克斯  /  AMF50BROOKS布鲁克斯 AMF质量流量控制器

BROOKS布鲁克斯 AMF质量流量控制器

简要描述:BROOKS布鲁克斯 AMF质量流量控制器
AMF 系列(Advanced Mass Flow)是一款超紧凑型数字质量流量控制器,专为在空间受限的系统中实现**的气体流量控制而设计。该产品专为生物加工、薄膜制造及优良工业应用而开发,在超小体积内集成了高性能、多气体兼容性和优良的诊断功能

基础信息

产品型号

AMF50

厂商性质

经销商

更新时间

2026-07-17

浏览次数

4
详细介绍
品牌BROOKS/布鲁克斯价格区间面议
产品种类其他介质分类气体
产地类别进口应用领域电子/电池,汽车及零部件,电气,半导体,机械设备

BROOKS布鲁克斯 AMF质量流量控制器
BROOKS布鲁克斯 AMF质量流量控制器

、基础主干型号(区分控制器 / 流量计)


AMF 是 Brooks 新一代超小型紧凑型橡胶密封数字 MFC,仅覆盖小流量区间 0.005~27 slpm N₂,分控制器(带阀,5X)、 流量计(无阀,6X)两大基础型号:
基础型号设备类型标准满量程覆盖本体尺寸
AMF50质量流量控制器 MFC(带控制阀)0.005 ~ 27 slpm1"×3"×3" 迷你机身
AMF60质量流量计 MFM(仅测量,无阀)0.005 ~ 27 slpm同 AMF50
说明:AMF 系列无 51/53/61/63 大流量型号;大流量橡胶密封机型为 SLAMF 系列(SLAMF50/51/53/60/61/63/64),极易与 AMF 混淆,二者产品线独立
介质类型Gas
流量测量原理Thermal (TMF)
流量范围Up to 27 slpm, 27,000 sccm
精度范围±0.6% of S.P. (20 - 100% F.S.), ±0.12% F.S. (<20% F.S.)
重复性±0.25% of S.P.
*大压力150 psi
工作温度0 - 65°C
测量/控制Measure & Control (Controller)
密封选项Elastomer
*高温度65 celsius
连接方式





EtherNet/IP


在线留言

留言框

  • 产品:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 省份:

  • 详细地址:

  • 补充说明:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7