北方华创（002371）

半导体?逻辑制造（中芯国际：国产替代）

案例：中芯国际 28nm→14nm→7nm 全链设备主力供应商

• 合作时间：2010 年至今，深度绑定 15 年 +

• 设备占比：28nm 成熟制程刻蚀 / 沉积 / 炉管国产市占 30%+；14nm 进入主力基线；7nm 进入验证 + 小批量

• 核心交付：

• 刻蚀机（NMC612D/Accura）：累计出货3200 + 腔，14nm 良率对标国际大厂

• PVD/CVD：28nm 量产、14nm 通过验证

• 热处理立式炉：出货1000 + 台，国内市占**

• 业绩贡献：中芯为**大客户（≈18–25% 营收）；2025 年单笔订单120 亿元

• 意义：国内**能给中芯提供 “除光刻机外全前道设备” 的厂商，打破泛林 / 应用材料垄断

二、半导体?3D NAND 存储（长江存储：国产存储 “脊梁”）

案例：长江存储 3D NAND 128 层→232 层 核心设备供应商

• 合作时间：2017 年至今，联合研发深度绑定

• 设备占比：三期项目国产设备占比 50%+，华创为*大国产供应商

• 核心交付：

• 高深宽比刻蚀机：128→232 层通孔刻蚀，深宽比 > 100:1，良率提升5%+

• 薄膜沉积（PECVD/ALD）：存储层堆叠主力设备

• 真空干泵（ESA/EST）：替代 EBARA，全机台批量应用

• 业绩贡献：长江存储为**大客户（≈15–18% 营收）

• 意义：全球仅 2–3 家可供应 200 + 层 3D NAND 刻蚀 / 沉积设备，打破东京电子 / 泛林垄断

三、半导体?DRAM 存储（长鑫存储：国产 DRAM “**”）

案例：长鑫存储 DDR4→DDR5→HBM 全流程设备总包

• 合作时间：2018 年至今，基线级战略伙伴

• 设备占比：整体采购 **≈45%**；刻蚀机市占 50%+；12 英寸 TSV（先进封装）市占 50%+

• 核心交付：

• 刻蚀 + PVD+CVD + 清洗 + 炉管：DDR5/LPDDR5X全量量产

• HBM3/3E 配套设备：联合研发，2025 年批量交付

• 真空干泵 / 分子泵：刻蚀 / 沉积 / 离子注入标配

• 业绩贡献：长鑫 IPO 募资295 亿，236 亿用于设备，华创为*大受益方

• 意义：全球**非日韩系 DRAM 设备主力供应商，支撑中国 DRAM 自主可控

四、真空装备?半导体干泵（国产替代 “卡脖子” 突破）

案例：半导体全制程干式真空泵（对标 EBARA/Edwards）

• 应用场景：刻蚀、CVD、PVD、离子注入、MOCVD全工艺

• 核心产品：

• EST 级干式螺杆泵：耐粉尘 / 腐蚀，替代 EBARA EST，中芯 / 长江 / 长鑫批量装机

• ESA 多级罗茨干泵：MOCVD 氢气工况，LED / 功率半导体市占**

• 分子泵：高真空刻蚀 / 溅射，国产市占 40%+

• 交付规模：累计出货 **>5000 台 **，国产干泵市占 60%+

• 意义：国内**可在半导体苛刻工艺全环节批量替代进口干泵的企业

五、新能源?锂电真空（宁德时代 / 比亚迪：整线真空解决方案）

案例：锂电真空干燥 + 复合集流体镀膜设备

• 客户：宁德时代、比亚迪、中**航、亿纬锂能

• 核心交付：

• 真空干燥炉：18650/21700 / 大圆柱全系列，水分 < 50ppm，市占 30%+

• 复合集流体 PVD 镀膜设备（eMeridian RR-M）：替代进口，良率 98%+，2024 年量产交付

• 意义：锂电真空设备国产龙头，支撑中国锂电全球竞争力

六、光伏 / 新材料?真空镀膜（隆基 / 稀土：国产**装备）

案例 1：隆基绿能 光伏 PVD 镀膜设备

• 产品：ARC/Al 背场 PVD，PERC→TOPCon→HJT全路线

• 规模：累计出货 **>800 台 **，国产市占 25%+

案例 2：稀土永磁 “黑灯工厂”（北方华创真空）

• 设备：真空烧结炉 + 连续式 PVD + 晶界扩渗炉

• 指标：氧含量10–30ppm，磁体矫顽力提升10%+

• 荣誉：国内**、国际**，获稀土行业科技进步奖

七、一句话总结（可直接用于汇报）