干式真空泵：一种创造洁净环境的真空技术。

干式真空泵创造了半导体制造所必需的真空空间。

提到“真空"，你会想到什么？或许你会想到像外太空那样“空无一物"的状态。如今，真空技术已被广泛应用于各种产品中，从我们生活中bu可或que的智能手机和电脑等电子设备，到我们日常使用的保温瓶，甚至包括用于jian端物理实验的粒子加速器。其中，真空技术在半导体制造领域尤为重要。在半导体衬底晶圆的加工过程中，需要使用真空泵将加工空间（称为腔室）内的空气抽出，以最大限度地提高真空度并防止杂质（例如气体分子）污染。荏原公司精密电子有限公司生产的“干式真空泵"正是在此发挥作用。它能够有效去除加工空间内的气体分子，并且由于其气体接触区域不使用油，因此可以获得洁净的真空环境，无需担心回流或水/油扩散造成的污染。我公司自1986年起开始销售干式真空泵，目前是quan球第二大市场fen额持有者。我们在全球拥有50多个服务网点，建立了可靠的全球支持体系，并得到了众多国际企业的信赖和支持。