通过“废气处理技术”为可持续发展的社会做出贡献

半导体是技术发展bu可或que的一部分，包括近年来备受关注的生成式人工智能、自动驾驶和智能手机等领域。半导体制造过程据说包含数百道工序，其中许多工序都会用到各种特殊气体。这些气体经过妥善处理后，会根据各国法律法规，在充分考虑环境因素的前提下排放到工厂外，而废气处理设备正是这一排放过程的重要组成部分。近年来，半导体行业的环保意识日益增强，预计对废气处理设备的需求将持续增长。
荏原公司精密电子有限公司开发的废气处理系统用途广泛，包括降低全氟化合物（PFCs）的温室效应、安全处理yi燃气体以及对含有ju毒物质的有害气体进行解毒。为满足这些多样化的需求，我们提供一系列产品，能够采用多种处理方法处理各种气体，包括燃烧法、湿法、干法和催化法。此外，这些系统是专为近源使用而设计的即用型系统，无需铺设长距离管道连接至大型处理设施。它们具有初始成本低、结构紧凑、易于安装和搬迁等特点，不仅适用于大规模生产设施，也适用于实验应用。