什么是干式真空泵？

干式真空泵的特点
在半导体制造工艺以及对洁净度要求ji高的FPD、LED和太阳能电池制造工艺中，干式真空泵是bu可或que的设备。近年来，由于其能够轻松地为质谱仪和电子显微镜等分析仪器提供洁净的排气，干式真空泵的应用范围不断扩大。此外，其洁净的真空环境和便捷的维护特性也使其在真空干燥和薄膜沉积等各种应用中得到越来越广泛的应用。

荏原干式真空泵的优势
1. 无油清洁真空；

2. 可从大气压达到高真空；
3. 无需定期维护，例如加水或更换油。
荏原干式真空泵以其高能效和紧凑的尺寸而著称，广泛应用于各个领域。其
优化的独特转子设计提高了压缩效率并实现了低能耗。紧凑轻巧的设计使其能够在空间有限的环境中安装，并易于搬迁。荏原干式真空泵全球出货量已超过20万台*，广泛应用于各个领域，尤其是在对性能和可靠性要求ji高的半导体行业。

此外，荏原在全球拥有超过50个服务网点，可提供可靠的全球支持。从行业**的紧凑轻型机型到氢气排气机型以及用于产生反应性副产物的工艺的高负荷机型，您都可以从我们丰富的产品线中选择*合适的泵。