ULVAC（日本爱发科），全称日本真空技术株式会社

一、品牌背景

• 1952 年创立于日本，亚洲*大真空综合厂商

• 产品线*全：从粗真空、中真空到超高真空（分子泵、离子泵）全覆盖

• 国内有工厂 & 完shang售后，日系设备配套首xuan，半导体、面板厂大量标配

• 定位：精密、稳定、日系品质、适配严苛工艺

二、主流干式真空泵系列（* 常用）

1. LR / LRZ 系列（螺杆式干泵，半导体主力）

• 双螺杆干式无油真空泵

• 特点：耐腐蚀、抗粉尘、抗水汽、排气稳定、低振动

• 用途：刻蚀、CVD、PVD、晶圆清洗、先进封装、面板制程

2. DIS / DVS 系列（爪式干泵，工业通用）

• 无油爪式结构，结构简单、故障率低、维护便宜

• 用途：锂电、光伏、镀膜、脱泡、检漏、中小型工业真空

3. VS 涡旋干泵（小型）

• 静音、小型、洁净，实验室、分析仪器、检漏用

4. 油式旋片泵（GLD 系列）

• 经典爆款，实验室、普通工业、真空包装，性价比高

5. 超高真空产品线（爱发科强项）

分子泵、涡轮分子泵、真空计、检漏仪、真空阀门，一站式真空系统方案

三、核心优势（对比荏原、爱德华）

1. 日系精密性*强，真空控制、稳定性、密封性极 jia

2. 超高真空领域碾压同级，分子泵、检漏仪全球顶 尖

3. 耐酸碱、氟化物、腐蚀性气体能力强，适配半导体严苛气体

4. 体积紧凑、噪音低、能耗控制**

5. 日系设备兼容性*好：应用于日系半导体设备、镀膜机、溅射机

主要应用行业

半导体、TFT 面板、OLED、光伏、锂电池、真空镀膜、溅射、科研实验室、医疗器械、化工、检漏