现货！！日本进口现货EBARA荏原EV-S200 罗茨型干泵

EBARA荏原EV-X型干式真空泵

EBARA荏原EV-X系列干式真空泵，是日本荏原（EBARA）旗下核心工业级无油真空设备，采用多级罗茨啮合旋转结构，属于干式无油真空泵，全程无油、无接触啮合，无需润滑油润滑，从根源上杜绝油污染，契合半导体、光伏、锂电池、制药、化工等对洁净度要求jigao的行业需求。该系列核心作用是直接抽取气体，实现系统高真空环境，无需搭配前级泵即可独立运行，凭借空冷节能、高水蒸气耐受性、低振动低噪音、维护简便的优势，广泛应用于半导体制造（CVD、PECVD、蚀刻工艺）、太阳能电池片生产、锂电池制造（脱气、封装）、化工蒸馏和干燥、制药冻干、实验室精密真空等多种工业场景，其中EV-X50为小型机型，EV-X100为中型机型，EV-X200为中大型机型，可根据工况流量需求灵活选型。

EV-X系列整体采用高效节能电机，适配洁净环境与含微量腐蚀、可凝蒸汽的工况，部分型号支持氮气吹扫、防腐材质升级，满足复杂工况处理需求，其转子与泵腔无接触摩擦，磨损小、使用寿命长，维护便捷，且整机结构紧凑、占地小，搭载智能监控与故障诊断系统，自动化程度高，是现代工业洁净真空系统的核心配套设备，在半导体和光伏制造领域的真空设备供应中占据重要位置。

二、全型号核心参数速查（50Hz 工频，标准工况）

注：1. 60Hz工况下，抽速提升约20%，适配海外电压（208-230V/460V），电压 tolerance±10%，50/60Hz双频自适应；2. 全系列标配三相异步电机，可定制防爆电机（Exd II BT4），适配易燃易爆工况；3. 极限真空为常温、洁净空气搭配标配气镇工况下测试值，无需搭配前级泵，单独运行即可达到该真空度；4. EV-X200水冷版本需确保冷却系统正常工作，避免泵体过热；5. 电机均配备过热、过载、缺相保护，符合IEC 34-11标准，运行**可靠；6. 全系列具备高水蒸气耐受性，适配含可凝蒸汽的工况，部分型号可加装氮气吹扫装置。

三、安装&外形关键尺寸（分型号精简版）

1. 小型空冷型（EV-X50）

•                      整体尺寸（长×宽×高）：约 650×480×580 mm

•                      地脚安装孔：横向450mm、纵向280mm

•                      安装要求：硬质水平地面，加装减震垫，四周预留≥120mm散热维护空间，人工可直接搬运，无需专用起重设备；进气口需加装高精度过滤器，防止粉尘、杂质进入泵腔，避免转子磨损；适配实验室、小型腔体等紧凑空间安装。

2. 中型空冷型（EV-X100）

•                      整体尺寸（长×宽×高）：约 820×550×680 mm

•                      地脚安装孔：横向580mm、纵向350mm

•                      安装要求：硬质水平混凝土地面，加装高强度减震垫，四周预留≥180mm散热维护空间；空冷版本需保证通风良好，避免高温环境影响运行；可人工搬运或借助小型起重设备辅助，连接管路需加装支架，避免管路重量压迫泵体接口。

3. 中大型风冷/水冷型（EV-X200）

•                      整体尺寸（长×宽×高）：约 980×620×750 mm

•                      地脚安装孔：横向650mm、纵向400mm

•                      安装要求：硬质混凝土地面，加装专用减震装置，四周预留≥250mm散热维护空间，可借助小型起重设备辅助安装、定位；水冷版本需单独连接冷却水路，冷却水温度5-30℃，水压0.2-0.4MPa，冷却水量≥3L/min；安装现场需预留检修空间，便于后期维护。

全系列通用安装要求

1.                EV-X系列为多级罗茨式干式真空泵，可单独启动运行，无需搭配前级泵；启动前需检查电源电压、冷却系统（水冷机型）、管路连接情况、气镇装置（如有），确认无误后再启动，避免泵体损坏；系统建议配备压力开关或压力传感器，实时监控真空度。

2.                安装需水平，倾斜角度≤2°，用水平仪校准，防止转子运行偏移，导致磨损、噪音增大；连接管路时，需确保泵体不承受管路张力或应力，避免泵壳变形。

3.                管路连接：进出口管路需与泵体法兰规格匹配，使用专用密封垫（建议采用氟橡胶密封垫），连接后进行检漏保压测试，避免漏气影响真空度；连接管路长度≤3m，管径不小于泵体进出口管径，腐蚀性工况需选用耐腐蚀管路；抽取可凝蒸汽时，需在管路加装冷凝装置，减少泵腔结露。

4.                接线要求：严格按照电机额定电压（三相380-415V/50Hz）接线，确认电机正反转（反转会导致泵体转子碰撞损坏），建议加装过载保护、缺相保护、漏电保护装置，确保用电**。

5.                安装环境：远离高温、潮湿、腐蚀性气体，避免阳光直射，环境温度控制在5-40℃，相对湿度≤90%（无结露）；洁净环境安装时，需做好泵体密封防护，避免粉尘进入电机及泵腔；易燃易爆工况需确保防爆电机安装规范，接地良好；含可凝蒸汽工况需保证环境通风，减少冷凝水堆积。

6.                排气处理：根据工况需求，排气口可连接排气管路，将气体排出至指定区域；抽取腐蚀性、有毒气体时，需在排气口加装尾气处理装置，符合环保及**标准；含可凝蒸汽工况需在排气口加装排水装置，及时排出冷凝水。