现货！日本进口现货 荏原 EV--X30N干式真空泵
更新时间：2026-06-02
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公司最近出的新品！！现货！！EBARA荏原
产品型号：EV-X30N
产品型号：EV-X30N
产品简介：
荏原 EV‑X 系列是日本荏原（EBARA）2021 年推出的半导体中负荷工艺专用、节能型、模块化干式真空泵，主打：小型化、低能耗、耐腐、宽工艺覆盖、低 TCoO。 荏原 EV‑X = 新一代半导体中负荷干式真空泵，空冷、超节能、超紧凑、标准耐腐、一机覆盖几乎所有主流制程，TCoO *低，2021 年后新建晶圆厂主力机种。
核心定位关键词
Dry（无油）：全程无油，洁净真空，无污染
Medium‑Duty（中负荷）：蚀刻、CVD、灰化、离子注入、外延等主流半导体工艺
Energy Saving（节能）：比上代 EV‑M/EV‑S 省电 25–50%
Compact（占地小）：比同类泵占地减少约 30–38%
结构与工作原理（通俗版）
结构
多级螺杆 / 罗茨复合转子：荏原自研高效转子，大流量 + 高真空兼顾
模块化泵体：整机高度集成，零件少、易维护、交期短
全机无油设计：非接触密封，无油污染、寿命长、维护周期长
原理
多级干式转子逐级压缩排气，从真空侧到大气侧
全程无油，只靠转子啮合输送气体
宽温智能控温：防止副产物（如 SiO₂、TiN）沉积，可处理高粉尘 / 高副产物工艺
八大核心优势
1）**节能（*大卖点）
比上代 EV‑M 系列 省电 25–50%
IE5 超高效电机，低负载时自动降功率
2）小型化、占地*小
同流量下体积*小，Sub‑Fab 空间利用率高
比竞品占地减少 30–38%
3）宽工艺全覆盖（一机多用）
覆盖：蚀刻、CVD、PECVD、HDP CVD、灰化、离子注入、外延、PVD、溅射
低流量 → 大流量、低腐蚀 → 强腐蚀全搞定，减少备用机库存
4）高耐腐、长寿命
标准材质即耐腐蚀（氟化物、氯化物、硅系副产物）
HC 版本可应对强腐蚀、高粉尘苛刻工艺
5）空冷设计，安装简单
无需冷却水，无水路故障，全球通用、安装灵活
50/60Hz 自适应，全球电网通用
6）低 TCoO（总成本低）
省电 + 长维护周期 + 少备件 + 少备用机 → 长期成本大幅下降
7）智能温控，防堵防沉积
泵体宽范围精准控温，抑制副产物堆积
PN 氮气吹扫进一步防堵，适合 TiN、3D NAND 深穴等易沉积工艺
8）**合规
符合 SEMI‑S2、CE、NRTL，半导体工厂**标准全覆盖
