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产品型号
EV-M1205SF -
厂商性质
经销商 -
更新时间
2026-07-01 -
浏览次数
58
产品描述
日本进口BARA荏原干式真空泵 EBARA 荏原 EV‑M 系列（干式真空泵） 半导体 / 光伏 / 高负荷工艺用多级罗茨干式泵，高耐腐蚀、低能耗、水冷。
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进口EBARA荏原ESA多级罗茨干式真空泵 ESA 系列 = EBARA 荏原 多级罗茨式干泵 结构：两级主泵 + 罗茨增压，真空侧无油 抽速：1,400～70,000 L/min（84～4,200 m³/h） 极限真空：0.13～400 Pa（0.0013～4 mbar） 冷却：水冷（全系列） 一句话：氢气 / 轻气体*强干泵 + 大腔体超快粗抽；MO‑CVD *标配、面板 / 光伏
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