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产品型号
HR3601-TT -
厂商性质
经销商 -
更新时间
2026-06-03 -
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72
产品描述
ULVAC 爱发科 HR系列多级罗茨干式真空泵 ULVAC（爱发科）HR/UR 系列是半导体级多级罗茨干式真空泵，为 CVD、刻蚀、灰化等严苛高温 / 腐蚀 / 易沉积工艺设计，属于爱发科***工艺干泵，对标大晃 BEH、爱德华 iXH，主打高温均热、强防腐、无油洁净、大抽速 + 高真空。
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