简要描述：日本进口 ULVAC 爱发科多级罗茨干式真空泵
ULVAC（爱发科）HR/UR 系列是半导体级多级罗茨干式真空泵，为 CVD、刻蚀、灰化等严苛高温 / 腐蚀 / 易沉积工艺设计，属于爱发科***工艺干泵，对标大晃 BEH、爱德华 iXH，主打高温均热、强防腐、无油洁净、大抽速 + 高真空。

日本进口 ULVAC 爱发科多级罗茨干式真空泵

日本进口 ULVAC 爱发科多级罗茨干式真空泵

ULVAC（爱发科）HR/UR 系列是半导体级多级罗茨干式真空泵，为 CVD、刻蚀、灰化等严苛高温 / 腐蚀 / 易沉积工艺设计，属于爱发科***工艺干泵，对标大晃 BEH、爱德华 iXH，主打高温均热、强防腐、无油洁净、大抽速 + 高真空。

• HR：标准高温型（120–150℃），覆盖主流 CVD / 刻蚀。

• UR：超高温型（150–200℃），针对升华物 / 粉尘极重的制程（如 ALD、高沉积 CVD）。

核心特点（爱发科，区别于 MS/LR）

1. 高温均热技术（核心壁垒）

• 泵体全程120–200℃可控恒温，让升华物质（如 NH4Cl、氟化物）保持气态排出，不结垢、不堵泵、免频繁清理。

• UR 比 HR 温度更高，防沉积能力更强。

2. 多级罗茨 + 高压缩比

• 4–5 级罗茨串联，直排大气无需前级泵，极限真空达0.005–5 Pa，抽速60–4500 m³/h。

3. **防腐 + 密封

• 转子 / 腔体：高硬度防腐涂层，耐 HCl、HF、Cl₂、氟化物，适配刻蚀 / 去胶强腐蚀工况。

• 屏蔽电机 + 氦气密封：零泄漏、防爆、低维护。

4. 瞬停对策 + 节能

• 抗1000ms 瞬停，半导体产线**等级高。

• 可选 ECO-SHOCK：轻载（空气 / N₂）节能*高 70%。

三、核心型号与参数（2026 原装，50/60Hz）

HR 系列（标准高温，120–150℃）

UR 系列（超高温，150–200℃，防沉积更强）

四、HR/UR vs 爱发科内部系列（MS/LR）

五、行业应用（半导体为主，覆盖严苛制程）

1. 半导体（核心主力）

• CVD（沉积）：HR421/UR600/UR1200（如 PECVD、LPCVD、ALD），防硅烷 / 氨气沉积物。

• 刻蚀（Etch）：UR600/UR1200（干法刻蚀、RIE、ICP），耐氟 / 氯系腐蚀 + 排粉尘。

• 灰化（Ashing）：HR180/HR421，排聚合物残渣。

• 扩散 / 退火：HR90/HR180，高温高真空、洁净排气。

2. 光伏 / FPD

• 光伏PECVD / 扩散：HR421/UR600，耐硅尘 + 高温防沉积。

• OLED蒸镀 / 刻蚀：UR600，无油洁净、低污染。

3. 锂电 / 化工（高要求场景）

• 锂电**极片烘干 / 注液脱气：HR180/HR421，耐电解液腐蚀 + 洁净。

• 化工高腐蚀蒸馏 / 溶剂回收：HR90/HR180，耐酸碱 / 有机溶剂。

六、HR/UR vs 大晃 BEH 选型对照