简要描述：日本IWAKI易威奇TC-X/TTD 系列气动隔膜泵
TTD 系列（半导体高纯 PTFE，低颗粒 / 无金属离子）
接液材质：Virgin PTFE（高纯聚四氟乙烯），无任何金属接触
压力：0.2–0.5 MPa（30–73 psi）
温度：0–120℃（标准），0–150℃（H 高温型）
洁净等级：Class 100 洁净室组装、测试、双层包装
特点：低颗粒、无金属离子析出

全型号与核心参数（半导体常用 6 档流量）

1）TC‑X030TTD（1/4"，6 mm）

• 最大流量：8.2 L/min（2.16 GPM）

• 接口：1/4" 螺纹（NPT/Flaretek）

• 阀类型：Flat 平板阀

• 固体粒径：≤0 mm（高纯无颗粒）

• 气耗：低，约 250 L/min

• 重量：约 3 kg

2）TC‑X050TTD（3/8"，10 mm）

• 最大流量：11.5 L/min（3.0 GPM）

• 接口：3/8" 螺纹

• 阀类型：Flat

• 固体粒径：≤0 mm

• 重量：约 3.5 kg

3）TC‑X101TTD（1/2"，15 mm）

• 最大流量：25 L/min（6.6 GPM）

• 接口：1/2" 螺纹 / 法兰

• 阀类型：Flat

• 固体粒径：≤1 mm（轻微颗粒）

• 重量：约 5.5 kg

4）TC‑X152TTD（1/2"，15 mm）

• 最大流量：50 L/min（13.2 GPM）

• 接口：1/2" 螺纹 / 法兰

• 阀类型：Flat

• 固体粒径：≤1 mm

• 重量：约 7.5 kg

5）TC‑X250TTD（1"，25 mm）

• 最大流量：80 L/min（21.1 GPM）

• 接口：1" 法兰

• 阀类型：Ball 球阀（可选 Flat）

• 固体粒径：≤3 mm

• 重量：约 16 kg

6）TC‑X400TTD（1"，25 mm）

• 最大流量：95 L/min（25.1 GPM）

• 接口：1" 法兰（‑FL）

• 阀类型：Ball/Flat 可选

• 固体粒径：≤3 mm

• 重量：约 28 kg

TTD 核心特点（半导体关键）

1. 全 PTFE 接液：无金属、无橡胶，杜绝金属离子（Na/K/Fe/Cu）污染

2. 低颗粒设计：洁净室组装、无油润滑、PTFE 阀与隔膜，颗粒等级 ≤0.1 μm

3. 耐高温：标准 120℃，H 型 150℃，适配高温湿法（如 120℃磷酸）

4. 低脉动：配合缓冲器可做到 ≤0.02 MPa 脉动，适合精密循环

5. SEMI 合规：符合 SEMI S2（安全）、SEMI S8（污染控制）

TTD 运用场景（半导体高纯湿法）

• 晶圆清洗（RCA/SC1/SC2/DHF）：输送高纯氨水、双氧水

• 刻蚀制程（BOE、磷酸刻蚀）：高纯 BOE（ buffered HF）、高温磷酸（150℃）

• CMP 浆料循环：高纯抛光液（硅溶胶 / 氧化铝浆料），低颗粒、无金属污染

• 光刻 / 显影：高纯显影液、剥离液、光刻胶稀释液（微量颗粒敏感）

• 化学品输送与分配：Fab 内高纯化学品柜（Chem Cabinet）输送

• 再生 / 回收：高纯酸回收、超纯水循环