简要描述：日本IWAKI易威奇半导体湿法 /电镀控制器
ntuition‑9（ Fab 中央监控 / 多通道）
定位：半导体厂级控制器，W600 升级款，9 路输入、12 路输出、多工位集中控制，适配 12 寸 Fab 量产线。

1）型号

• WIN94000：通用型（pH/ORP/ 电导率 / 流量）

• WIN97000：高纯度监控型（超纯水 / 化学品配送）

2）核心参数

• 输入：9 路（pH/ORP/ 电导率 / 4–20mA / 脉冲流量）

• 输出：12 路继电器 + 4–20mA + 以太网

• 精度：pH ±0.005、电导率 ±0.5%，半导体顶级精度

• 通讯：EtherNet/IP、Modbus‑TCP、Fab 自动化无缝集成

3）运用场景

• 12 寸 Fab 中央化学品配送：多工位浓度 / 流量集中监控

• 超纯水（UPW）系统：电阻率 / TOC / 粒子数联动控制

• 量产线全流程追溯：数据实时上传 MES，良率分析

三、FDC‑1（CFD/PDS 微量泵专用控制器）

1）参数

• 控制泵型：CFD‑1T/8T、PDS‑105R/H115

• 冲程控制：0–30 spm（CFD）、0–60 spm（PDS）

• 精度：重复性 ±0.1%，单冲程 mL 级精准

• 信号：脉冲输入（0.0156 mL / 脉冲）、漏液传感器接口

2）运用场景

• 光刻胶涂覆（PDS‑H115）：5–12 mL / 片精准分配，无气泡 / 颗粒

• 单片清洗微量补液（CFD‑1T）：1 mL/shot 级 HF / 氨水添加