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| 品牌 | IWAKI/日本易威奇 | 供货周期 | 两周 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 化工,能源,电子/电池,汽车及零部件,电气 |
日本IWAKI易威奇F 系列气动隔膜泵控制器
日本IWAKI易威奇F 系列气动隔膜泵控制器
控制泵型:CFD‑1T/8T、PDS‑105R/H115
冲程控制:0–30 spm(CFD)、0–60 spm(PDS)
精度:重复性 ±0.1%,单冲程 mL 级精准
信号:脉冲输入(0.0156 mL / 脉冲)、漏液传感器接口
光刻胶涂覆(PDS‑H115):5–12 mL / 片精准分配,无气泡 / 颗粒
单片清洗微量补液(CFD‑1T):1 mL/shot 级 HF / 氨水添加
控制泵型:TC‑X/TTD、F 系列气动隔膜泵
输出:同时控制 3 台泵,冲程 / 压力闭环
功能:流量 / 冲程计数、负载波动自动稳压、延长隔膜寿命
大流量强腐蚀药液输送(TC‑X):刻蚀液 / 清洗液循环,稳定流量
CMP 浆料循环:防沉淀、流量稳定,保护泵与管路
| 控制器型号 | 适配泵型 | 核心参数 | 最佳场景 |
|---|---|---|---|
| W600W | IX‑D/CFD/PDS | pH±0.01、6 路输出 | 湿法清洗 / 刻蚀通用 |
| W600Cu/Ni | IX‑D/SUS316 | 金属浓度 ±0.1g/L | 化学镀铜 / 镍 |
| Intuition‑9 | 全系列 | 9 入 12 出、±0.5% | 12 寸 Fab 中央监控 |
| FDC‑1 | CFD/PDS | 单冲程 ±0.1% | 光刻胶 / 微量补液 |
| SC‑1/SC‑2 | TC‑X/TTD | 3 泵联动、稳压 | 大流量腐蚀液输送 |