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日本IWAKI易威奇F 系列气动隔膜泵控制器

简要描述:日本IWAKI易威奇F 系列气动隔膜泵控制器
SC‑1/SC‑2(F 系列气动隔膜泵控制器)
定位:TC‑X/TTD(气动隔膜泵)专用,多泵联动、压力 / 流量稳定、循环过滤。

基础信息

产品型号

SC‑1/SC‑2

厂商性质

经销商

更新时间

2026-05-30

浏览次数

42
详细介绍
品牌IWAKI/日本易威奇供货周期两周
应用领域化工,能源,电子/电池,汽车及零部件,电气

日本IWAKI易威奇F 系列气动隔膜泵控制器
日本IWAKI易威奇F 系列气动隔膜泵控制器

DC‑1(CFD/PDS 微量泵专用控制器)

定位微量定量泵专属控制器,适配 CFD(风囊)、PDS(高精度分配),单冲程精准控制、漏液报警、脉冲反馈

1)参数

  • 控制泵型:CFD‑1T/8T、PDS‑105R/H115

  • 冲程控制:0–30 spm(CFD)、0–60 spm(PDS)

  • 精度重复性 ±0.1%,单冲程 mL 级精准

  • 信号:脉冲输入(0.0156 mL / 脉冲)、漏液传感器接口

2)运用场景

  • 光刻胶涂覆(PDS‑H115)5–12 mL / 片精准分配,无气泡 / 颗粒

  • 单片清洗微量补液(CFD‑1T)1 mL/shot 级 HF / 氨水添加

1)参数

  • 控制泵型:TC‑X/TTD、F 系列气动隔膜泵

  • 输出:同时控制 3 台泵,冲程 / 压力闭环

  • 功能:流量 / 冲程计数、负载波动自动稳压、延长隔膜寿命

2)运用场景

  • 大流量强腐蚀药液输送(TC‑X)刻蚀液 / 清洗液循环,稳定流量

  • CMP 浆料循环防沉淀、流量稳定,保护泵与管路

五、半导体控制器选型矩阵(直接用)

控制器型号适配泵型核心参数最佳场景
W600WIX‑D/CFD/PDSpH±0.01、6 路输出湿法清洗 / 刻蚀通用
W600Cu/NiIX‑D/SUS316金属浓度 ±0.1g/L化学镀铜 / 镍
Intuition‑9全系列9 入 12 出、±0.5%12 寸 Fab 中央监控
FDC‑1CFD/PDS单冲程 ±0.1%光刻胶 / 微量补液
SC‑1/SC‑2TC‑X/TTD3 泵联动、稳压大流量腐蚀液输送


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