简要描述：KASHIYAMA樫山工业SD系列立式螺杆干泵
D 系列定位（与 SDE 区别）
SD 系列是樫山工业新一代大排量、高真空、强耐腐立式螺杆干泵，定位高于 SDE，主打12 寸晶圆 / 超大面板 / 优良制程，是当前半导体前道主力旗舰机型。
SDE：经典重型，排量 90–60N20（1,300–100,000 L/min）
SD：新一代旗舰，排量 10,000–100,000 L/min，真空更高

型号构成（三大家族）

• SDX：节能标准型，通用制程、低功耗

• SDT：高耐腐型，刻蚀 / CVD 等含氟 / 氯强腐蚀工况

• SDH：超大排量 / 超级热处理型，12 寸厂、大腔体、高负载

三、核心参数（全型号速览）

1. 抽速与极限真空

2. 通用规格

• 电源：三相 AC200–220V / 380–480V，50/60Hz

• N₂吹扫：0–80 SLM（SDH 可达 120 SLM）

• 尺寸：695×285×850mm ~ 1050×515×950mm（较上代占地 - 35%）

• 材质：

• SDX：接液部特种涂层铸铁

• SDT/SDH：不锈钢 + 高级防腐涂层，耐 HCl、Cl₂、HF、NH₃及粉尘

四、核心优势（对比 SDE / 竞品）

1. 更高真空：SDX/SDT1800 极限真空0.3 Pa（SDE 同级 0.5 Pa），适配 ALD 等超高压制程。

2. 节能：优化螺杆型线 + 高效电机，比 SDE 省电 20–30%，比 ULVAC/EBARA 同级省电约 30%。

3. 强耐腐 + 防凝结：

• 宽域温控（45–200℃），防溶剂 / 水汽凝结

• SDT 系列强化防腐，刻蚀 / CVD 寿命提升 50%+

4. 紧凑易部署：20,000 L/min 级占地 **-35%**，标配脚轮，移动灵活。

5. 安全合规：SEMI/CE/NRTL 认证，过载 / 过热 / 短路 / 漏气保护齐全。

五、典型运用场景

1. 半导体（核心）

• 12 寸优良制程：7nm/5nm/3nm，刻蚀（Etch）、CVD、PVD、ALD、清洗、CMP 后干燥。

• 强腐蚀工况：含氟 / 氯气体（如 NF₃、Cl₂、HF），优先选 SDT。

• 大腔体 / 高产能：12 寸机台、批量制程，SDH3000/6000为主力。

2. 显示面板（FPD）

• G8.5/G10.5 大尺寸基板：TFT-LCD/OLED 蒸镀、镀膜、刻蚀、光刻胶溶剂排气。

• OLED 有机层蒸镀：高真空 + 无油污染，保障良品率。

3. 新能源 / 热处理

• 光伏：硅片镀膜、电池片层压、组件脱气（SDX 节能优选）。

• 锂电池：极片真空干燥（露点≤-50℃）、注液、电芯封装。

• 热处理：真空淬火、回火、钎焊（SDH 高温稳定）。