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| 品牌 | EBARA/荏原 | 供货周期 | 两周 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 化工,能源,电子/电池,航空航天,电气 |
EBARA荏原EBT70F陶瓷滚珠轴承型涡轮分子泵
EBARA荏原EBT70F陶瓷滚珠轴承型涡轮分子泵
轴承系统：高精度陶瓷滚珠轴承，寿命＞30,000 小时，维护成本低。
复合转子：抗冲击设计，耐受突发气流 / 真空破坏，可靠性高。
低振动：振动≤0.2μm，适配超高真空（UHV）与精密测量场景。
安装灵活：可任意角度安装，适配移动真空车、集成设备。
冷却可选：风冷（风扇）或水冷，适配不同散热需求。
法兰规格：ISO‑K/ISO‑F/CF（Conflat）多种接口，兼容性强。
| 型号 | 抽速 (N₂, L/s) | 入口法兰 | 额定转速 (min⁻¹) | 重量 (kg) |
|---|---|---|---|---|
| EBT70F | 75 | ISO‑K63/CF63 | 90,000 | 3–5 |
| EBT220F | 220 | ISO‑K100/CF100 | 48,000 | 5.5–8 |
| EBT240F | 240 | ISO‑K100/CF100 | 48,000 | 7.3–10.5 |
| EBT350F | 330 | ISO‑K100/CF100 | 45,000 | 6–9 |
| EBT450F | 450 | ISO‑F160/CF160 | 33,600 | 7–10 |
| EBT800F | 820 | ISO‑F160/CF160 | 33,600 | 26–27 |
| EBT1100F | 1,100 | ISO‑F200/CF200 | 33,600 | 27–28 |
| EBT1400F | 1,400 | ISO‑F200/CF200 | 31,200 | 29–30 |
| EBT2400F | 2,400 | ISO‑F250 | 31,200 | 45 |
半导体 / 光伏：镀膜、刻蚀、离子注入配套高真空系统。
分析仪器：SEM、XPS、RGA、质谱仪等超高真空环境。
科研 / 研发：UHV 系统、真空腔体、移动真空车。
光学 / 薄膜：玻璃镀膜、LED/OLED 制程。
EBT（滚珠轴承）：机械陶瓷轴承，性价比高，维护简单，适合常规高真空与移动场景。
EMT（磁悬浮）：5 轴磁悬浮，无接触、无磨损、超低振动，适合半导体严苛制程与 UHV 长期运行。
抽速匹配：按腔体体积、抽气时间与前级泵配置选择型号。
真空度需求：EBT 可实现10⁻⁸ P 级 UHV，满足多数高精尖场景。
冷却方式：紧凑型 / 移动设备选风冷；高负载 / 连续运行选水冷。
法兰接口：ISO‑K 用于常规真空，CF 用于超高真空密封
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