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| 品牌 | KASUGA/日本春日 |
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进口KASUGA 春日电机KDB‑SI系列离子风棒
进口KASUGA 春日电机KDB‑SI系列离子风棒
放电方式:直流 DC 正负独立放电
核心卖点:全密封防尘结构、陶瓷绝缘、不易积尘、不易漏电、低粒子污染
定位:晶圆制造、探针台、涂布、曝光、光学工位、超高洁净区专用
离子平衡:≤±10V
除电速度:10kV→100V,≤1s @150mm
臭氧发生量:极低,满足高洁净室要求
推荐安装距离:100–200mm
放电针:钨合金材质,耐磨抗氧化
工作温度:0~40℃
前端防尘套筒 + 全密封陶瓷绝缘结构,粉尘、微粒不易进入棒体内部
高压部位隔离,减少漏电、打火、粒子产生,不污染晶圆
表面特殊绝缘涂层,耐 IPA、酒精等无尘室清洗剂擦拭
安装尺寸、接线方式与标准 KDB 通用,可直接互换
不易积灰,维护周期更长,适合高洁净、少维护的 Fab 车间
KDB:普通封测、组装产线,性价比
CKDB:粉尘多、切割研磨区,可快速换针
KDB‑SI:晶圆前道、高洁净 Fab、Class100/1000 必选