简要描述：日本爱发科ULVA DIS系列涡旋式干式真空泵
ULVAC DIS 系列是爱发科的双绕式涡旋干式真空泵，属于小型、无油、高真空、低噪音的洁净干泵，主打便携、免维护、可直启大气压，广泛用于实验室、分析仪器、半导体小型设备与检漏等场景

日本爱发科ULVA DIS系列涡旋式干式真空泵
日本爱发科ULVA DIS系列涡旋式干式真空泵
一、核心定位与原理

• 类型：双绕式涡旋干泵（1 条轨道涡旋 + 2 条固定涡旋）。

• 原理：动涡旋盘偏心旋转，与定涡旋盘形成多级压缩腔，气体从外周被推向中心，无接触、无油，直接从大气压抽到高真空。

• 核心价值：完quan无油、零返油、低振动噪音、风冷免水、维护极简。

二、主流型号与规格（3 款）

DIS-90

• 抽速：90 L/min（50Hz）/108 L/min（60Hz）

• 极限真空：≤5 Pa

• 电机：150W，单相 100/115/200/230V

• 接口：吸气 KF25 / 排气 KF16

• 尺寸：170×340×255 mm；重量：14 kg

  DIS-251 / DIS-252

• 抽速：500 L/min（50Hz）/600 L/min（60Hz）

• 极限真空：≤1.6 Pa

• 电机：750W，单相 / 三相可选

• 接口：吸气 KF40 / 排气 KF25

• 尺寸：280×450×380 mm；重量：38 kg

• 分析仪器：质谱仪、氦气检漏仪（前级）、表面分析设备。

• 半导体 / 面板：小型 CVD、PVD、刻蚀设备、真空吸附。

• 通用真空：真空干燥、冷冻干燥、脱气、气体回收、小型镀膜。

• 科研 / 实验室：真空腔体、实验装置、小型真空炉。

• DIS：涡旋式，抽速更小（90–500 L/min）、体积重量更轻、噪音更低、价格更低；适合小型洁净真空 / 实验室。

• RDA：多级罗茨式，抽速更大（280–500 L/min）、极限真空更高（≤0.08 Pa）、耐水汽更强；适合中小型工业真空 / 半导体。

• 抽速：250 L/min（50Hz）/300 L/min（60Hz）

• 极限真空：≤1.6 Pa

• 电机：400W，单相 / 三相可选

• 接口：吸气 KF25 / 排气 KF16

• 尺寸：252×400×336 mm；重量：25 kg

• DIS-501

  三、关键特点

  四、典型应用

  五、DIS vs RDA 系列（核心区别）

  六、使用要点

  
  

1. 无油高洁净：腔室无润滑油，零返油、零油雾，适配质谱、氦检、半导体等洁净制程。

2. 大气压直启：无需前级泵，直接从大气启动，简化系统、节省空间。

3. 低噪低振：涡旋多级压缩，振动 <0.1mm、噪音 < 55dB (A)，适合实验室与精密设备。

4. 风冷免水冷：空气冷却，无需冷却水，安装灵活，适合移动 / 集成场景。

5. 易维护长寿命：无接触涡旋盘，无易损件；仅需定期清洁进气过滤器，维护周期长。

6. 气镇设计：内置气镇阀，可处理水蒸气 / 轻溶剂蒸气，适合干燥 / 脱气应用。

7. 启动：大气压直接启动，无需预抽，操作简单。

8. 气镇（可选）：处理水汽时打开气镇；高真空时关闭，提升极限真空。

9. 维护：定期清洁进气过滤器；无油腔室，无需换油，维护成本低。