简要描述：日本进口 ULVAC爱发科螺杆式干式真空泵ULVAC爱发科MS120A、MS600A、MS1200A螺杆式干式真空泵，是日本爱发科（ULVAC）旗下核心工业级无油真空设备，采用双螺杆啮合旋转结构，属于干式无油真空泵，无需润滑油润滑，从根源上杜绝油污染，契合半导体、锂电池、制药等对洁净度要求高的行业需求。该系列核心作用是直接抽取气体，实现系统高真空环境，无需搭配前级泵即可独立运行，凭借运行稳定、噪

日本进口 ULVAC爱发科螺杆式干式真空泵
日本进口 ULVAC爱发科螺杆式干式真空泵

ULVAC爱发科MS120A/MS600A/MS1200A螺杆式干式真空泵

一、系列概述

ULVAC爱发科MS120A、MS600A、MS1200A螺杆式干式真空泵，是日本爱发科（ULVAC）旗下核心工业级无油真空设备，采用双螺杆啮合旋转结构，属于干式无油真空泵，无需润滑油润滑，从根源上杜绝油污染，契合半导体、锂电池、制药等对洁净度要求高的行业需求。该系列核心作用是直接抽取气体，实现系统高真空环境，无需搭配前级泵即可独立运行，凭借运行稳定、噪音低、耐腐蚀、抽速范围广的优势，广泛应用于半导体制造（CVD、PECVD、蚀刻工艺）、太阳能电池片生产、锂电池制造、化工蒸馏和干燥、制药冻干、食品真空处理等多种工业场景，其中MS120A为小型机型，MS600A为中型机型，MS1200A为大型机型，可根据工况流量需求灵活选型。

MS系列整体采用高效节能电机，适配洁净环境与腐蚀性工况，部分型号可定制防爆、防腐升级，满足危险工况与腐蚀气体处理需求，其螺杆与泵腔无接触摩擦，磨损小、使用寿命长，维护便捷，是现代工业洁净真空系统的核心配套设备，在光伏和锂电池制造领域的真空设备供应中占据重要位置。

1. 小型风冷型（MS120A）

•                      整体尺寸（长×宽×高）：约 780×520×650 mm

•                      地脚安装孔：横向500mm、纵向300mm

•                      安装要求：硬质水平地面，加装减震垫，四周预留≥150mm散热维护空间，人工可直接搬运，无需专用起重设备；进气口需加装高精度过滤器，防止粉尘、杂质进入泵腔，避免螺杆磨损。

2. 中型风冷/水冷型（MS600A）

•                      整体尺寸（长×宽×高）：约 1050×680×820 mm

•                      地脚安装孔：横向680mm、纵向420mm

•                      安装要求：硬质水平混凝土地面，加装高强度减震垫，四周预留≥250mm散热维护空间；风冷版本需保证通风良好，水冷版本需单独连接冷却水路，冷却水温度5-30℃，水压0.2-0.4MPa；可借助小型起重设备辅助搬运，连接管路需加装支架，避免管路重量压迫泵体接口。

3. 大型水冷型（MS1200A）

•                      整体尺寸（长×宽×高）：约 1350×850×1050 mm

•                      地脚安装孔：横向850mm、纵向500mm

•                      安装要求：重型混凝土地面，加装专用减震装置，四周预留≥350mm散热维护空间，需小型起重设备辅助安装、定位；水冷系统需单独连接，冷却水温度控制在5-30℃，水压0.3-0.5MPa，冷却水量≥5L/min；安装现场需预留检修空间，便于后期维护。