简要描述：日本进口 ULVAC爱发科螺杆式真空泵
ULVAC爱发科MS120A、MS600A、MS1200A螺杆式干式真空泵，是日本爱发科（ULVAC）旗下核心工业级无油真空设备，采用双螺杆啮合旋转结构，属于干式无油真空泵，无需润滑油润滑，从根源上杜绝油污染，契合半导体、锂电池、制药等对洁净度要求高的行业需求。该系列核心作用是直接抽取气体，实现系统高真空环境，无需搭配前级泵即可独立运行，凭借运行稳定、噪音

日本进口 ULVAC爱发科螺杆式真空泵
日本进口 ULVAC爱发科螺杆式真空泵

安装&外形关键尺寸（分型号精简版）

1. 小型风冷型（MS120A）

•                      整体尺寸（长×宽×高）：约 780×520×650 mm

•                      地脚安装孔：横向500mm、纵向300mm

•                      安装要求：硬质水平地面，加装减震垫，四周预留≥150mm散热维护空间，人工可直接搬运，无需专用起重设备；进气口需加装高精度过滤器，防止粉尘、杂质进入泵腔，避免螺杆磨损。

2. 中型风冷/水冷型（MS600A）

•                      整体尺寸（长×宽×高）：约 1050×680×820 mm

•                      地脚安装孔：横向680mm、纵向420mm

•                      安装要求：硬质水平混凝土地面，加装高强度减震垫，四周预留≥250mm散热维护空间；风冷版本需保证通风良好，水冷版本需单独连接冷却水路，冷却水温度5-30℃，水压0.2-0.4MPa；可借助小型起重设备辅助搬运，连接管路需加装支架，避免管路重量压迫泵体接口。

3. 大型水冷型（MS1200A）

•                      整体尺寸（长×宽×高）：约 1350×850×1050 mm

•                      地脚安装孔：横向850mm、纵向500mm

•                      安装要求：重型混凝土地面，加装专用减震装置，四周预留≥350mm散热维护空间，需小型起重设备辅助安装、定位；水冷系统需单独连接，冷却水温度控制在5-30℃，水压0.3-0.5MPa，冷却水量≥5L/min；安装现场需预留检修空间，便于后期维护。

衍生机型&适用场景

1. 可选配版本（全系列可定制）

•                      标准型：默认版本，MS120A为风冷，MS600A为风冷/水冷可选，MS1200A为水冷，适配常规工业洁净高真空场景，无油污染，性价比高，可单独运行。

•                      防爆型：具备防爆认证（Exd II BT4），定制防爆电机及隔爆结构，适配溶剂、易燃易爆气体等危险工况，确保运行**。

•                      耐腐蚀型：采用特殊防腐涂层及不锈钢材质，优化密封结构，具有优异的耐腐蚀性，可处理含轻微腐蚀性气体的场景，防止泵体内部腐蚀损坏。

•                      高效节能型：定制变频电机，可根据真空度需求调节转速，降低能耗，适配长期连续运行的工况，减少运行成本。

•                      洁净型：优化泵腔结构，采用无si角设计，便于清洁，适配半导体、制药、食品等对洁净度要求高的场景，避免污染物残留。

2. 分型号核心适用场景

•                      MS120A：小型实验室真空设备配套、小型电子元件封装、小型真空干燥、精密仪器真空配套等小流量洁净场景，适配对油污染敏感的小型工况。

•                      MS600A：中型锂电池脱气、真空蒸馏、制药冻干、太阳能电池片生产等中流量工况，可适配轻微腐蚀性气体，风冷/水冷可选，适配多种环境。

•                      MS1200A：大型半导体制造（CVD、PECVD、蚀刻工艺）、大型真空镀膜、冶金热处理、大型腔体真空处理等大流量高真空场景，需长期连续运行的工业严苛工况。

ULVAC爱发科MS系列螺杆式干式真空泵，作为工业级洁净真空核心设备，覆盖小、中、大流量全场景，凭借无油污染、运行稳定、维护便捷的优势，适配半导体、锂电池、制药等多个对真空度和洁净度要求严苛的行业，无需搭配前级泵即可独立运行，有效提升真空系统效率，降低运行及维护成本，是现代工业真空系统的优选设备。