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| 品牌 | ULVAC/日本爱发科 | 供货周期 | 两周 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 化工,能源,电子/电池,汽车及零部件,电气 |
日本进口ULVAC爱发科 螺杆式干式真空泵
日本进口ULVAC爱发科 螺杆式干式真空泵
高防腐 + 强排粉设计
转子 / 气缸：氮化硅 + 陶瓷复合涂层，耐 HCl、HF、有机溶剂，寿命比普通干泵长2–3 倍。
螺杆型线：深螺槽 + 大间隙，防粉尘卡泵，适配刻蚀 / 去胶 / 扩散等含颗粒工况。
全压力域稳定运行
大气压→极限真空连续运行，无喘振；高进气压力下抽速大，抽气时间短。
低噪节能 + 易维护
内置消音器：61–64 dB(A)，安静运行。
水冷 + 气冷双冷却，24h 连续运行；模块化结构，拆装简单，维护成本低。
核心型号与参数（2026 原装，50/60Hz）
| 型号 | *大抽速 (m³/h) | 极限真空 (Pa) | 电机功率 (kW) | 重量 (kg) | 吸 / 排口径 |
|---|---|---|---|---|---|
| MS120A | 115 | ≤0.6 | 2.4 | 约 230 | KF63/KF40 |
| MS600A | 560 | ≤0.1 | 3.1 | 约 550 | ISO100/ISO80 |
| MS1200A | 980 | ≤0.1 | 3.1 | 约 950 | ISO160/ISO125 |
电源：三相 200V/400V，50/60Hz。
冷却水量：≥4 L/min；吹扫气：0–50 SLM（防凝液 / 粉尘）。
| 系列 | 类型 | 抽速 (m³/h) | 极限真空 (Pa) | 核心优势 | 典型场景 |
|---|---|---|---|---|---|
| MS | 防腐螺杆干泵 | 115–980 | 0.1–0.6 | 强防腐、耐粉尘、排粉好 | 半导体刻蚀 / 去胶、锂电烘干、光伏 PECVD |
| LS | 标准螺杆干泵 | 120–1200 | 0.1–0.6 | 通用可靠、性价比高 | 普通 CVD、热处理、包装吸附 |
| DIS | 涡旋干泵 | 10–60 | 1.0–5.0 | 小型无油、低噪 | 实验室、小型镀膜、分析仪器 |
五、行业应用细分（直接对标大晃 MDP）
刻蚀（Etch）、去胶（Ashing）、等离子清洗：MS600A/MS1200A，排粉 + 防腐，适配氟 / 氯系气体。
晶圆退火、脱气、CVD：MS120A/MS600A，高真空洁净排气。
极片真空烘干、电芯脱气、电解液脱泡：MS120A/MS600A，耐电解液腐蚀。
电池封装检漏、注液系统负压：MS600A，大抽速快速抽气。
硅片拉晶、PECVD、AR 镀膜：MS600A/MS1200A，耐硅尘 + 高真空。
OLED 蒸镀、玻璃基板镀膜：MS600A，洁净无油、低污染。
真空蒸馏、减压浓缩、溶剂回收：MS120A/MS600A，耐有机溶剂。
医药冻干、真空干燥：MS120A，洁净无油、低噪。
| 工况 | ULVAC MS | Taiko MDP | 选择建议 |
|---|---|---|---|
| 强腐蚀 + 粉尘（刻蚀 / 去胶） | MS600A | MDP‑680 | 腐蚀重选 MS，性价比选 MDP |
| 锂电烘干 / 脱气 | MS120A | MDP‑535A | 日系工艺选 MS，预算优选 MDP |
| 光伏 PECVD / 拉晶 | MS1200A | MDP‑1520 | 大抽速高真空，两者均可 |
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