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| 品牌 | ULVAC/日本爱发科 | 供货周期 | 两周 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 化工,能源,电子/电池,汽车及零部件,电气 |
进口ULVAC 爱发科GR系列罗茨干式真空泵
进口ULVAC 爱发科GR系列罗茨干式真空泵
简化可靠、成本低
结构比 LR/HR 更简洁，通用感应电机，支持多电压，可选防爆电机。
转子 / 腔体：标准防腐涂层（DRP），适配洁净 / 轻度腐蚀气体，非强酸强碱。
高负荷耐疲劳
可大气压↔真空反复启停，高压区连续运行稳定，适合 **Load Lock（装载腔）** 高通量排气。
极限真空1–5 Pa，直排大气无需前级泵。
水冷高效、低噪
水冷冷却，24h 连续运行；标配消音器，噪音64–68 dB(A)。
| 型号 | 抽速 (m³/h,50/60Hz) | 极限真空 (Pa) | 电机功率 (kW) | 重量 (kg) | 吸 / 排口径 |
|---|---|---|---|---|---|
| GR60A | 62/80 | ≤5.0 | 2.2 | 128 | VG50/NW40 |
| GR90A | 112/126 | ≤5.0 | 3.7 | 188 | VG50/NW40 |
| GR180A | 183/237 | ≤1.0 | 7.5 | 268 | VG80/ISO80/NW40 |
电源：三相 200V/400V，50/60Hz；冷却水量≥2 L/min。
| 系列 | 类型 | 抽速 (m³/h) | 极限真空 (Pa) | 温度 | 防腐等级 | 核心场景 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| GR | 经济型多级罗茨 | 60–240 | 1.0–5.0 | 常温 | 标准（洁净 / 弱腐） | Load Lock、真空干燥、置换 |
| LR | 标准多级罗茨 | 60–1200 | 0.67–5.0 | 常温 | 中（轻度腐蚀） | PVD、分子泵前级、普通 CVD |
| HR | 高温多级罗茨 | 60–600 | 0.05–5.0 | 120–150℃ | 高（刻蚀 / 灰化） | 主流 CVD、刻蚀、灰化 |
| UR | 超高温多级罗茨 | 400–4500 | 0.005–0.05 | 150–200℃ | 高（ALD / 重沉积） | ALD、高沉积 CVD、重粉尘刻蚀 |
Load Lock 腔：GR90A/GR180A，晶圆 / 基板快速进出，反复抽气耐疲劳。
PVD / 蒸镀：GR180A，溅射 / 蒸镀前级，洁净无油。
封装 / 测试：GR60A/GR90A，真空检漏、脱气。
光伏硅片清洗 / 干燥：GR90A/GR180A，洁净排气、耐水汽。
锂电极片脱泡 / 干燥：GR180A，轻度腐蚀、无油污染。
真空干燥 / 脱泡：GR60A/GR90A，化工、医药、食品。
真空气体置换：GR90A，惰性气体填充、热隔绝。
| 工况 | ULVAC GR | Taiko BEH-L | 选择建议 |
|---|---|---|---|
| Load Lock 高通量 | GR180A | BEH‑900L | GR 性价比更高，大晃稳定性略优 |
| 真空干燥 / 置换 | GR90A | BEH‑600L | 预算优选 GR，日系标准选 BEH |
| 轻度腐蚀 PVD | GR180A | BEH‑1200L | 两者均可，看售后与价格 |
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