产品型号
厂商性质
更新时间
浏览次数
产品分类
相关文章
| 品牌 | ULVAC/日本爱发科 | 供货周期 | 两周 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 化工,能源,电子/电池,汽车及零部件,电气 |
日本进口爱发科ULVAC 罗茨干式真空泵
日本进口爱发科ULVAC 罗茨干式真空泵
转子：一对 8 字形转子同步反向旋转，无接触、无磨损。
抽气：多级转子逐级压缩气体，无需前级泵，直抽范围 101325Pa～0.08Pa。
洁净：泵腔无油，零油污染、零返流。
| 型号 | 有效抽速 | 极限压力 (关 F.A) | 极限压力 (开 F.A) | 功率 | 重量 |
|---|---|---|---|---|---|
| RDA-281H/281HA | 280L/min | ≤8×10⁻²Pa | ≤6Pa | 720W | 38kg |
| RDA-501H/501HA | 500L/min | ≤8×10⁻²Pa | ≤6Pa | 720W | 约 45kg |
电源：单相 100～115V/200～240V；三相 200～240V。
接口：KF-25/KF-25；尺寸约 180×588×377mm（281HA）。
无油洁净：无油设计，杜绝油雾 / 返流，适配半导体、镀膜、分析仪器等高洁净场景。
宽域运行：大气压直抽，一泵覆盖粗～高真空，无需前级泵，简化系统。
耐水汽强：吸水汽量 300g/h，适配潮湿工艺（如冻干、镀膜）。
免冷却水：空冷设计，安装灵活、运维简单。
长寿命低维护：无滑动摩擦件，寿命长，仅需定期检查进气过滤。
紧凑高效：小体积大抽速，易集成到设备内部。
半导体 / 面板：PVD 镀膜、蚀刻、沉积设备前级泵。
分析仪器：质谱、氦检漏仪、电子显微镜真空源。
镀膜 / 光学：真空镀膜、溅射、蒸镀的洁净抽气。
通用工业：气体回收、真空包装、涡轮分子泵前级。
上一篇
