DIC迪爱生 高效率脱气脱气供气模组
DIC迪爱生 高效率脱气脱气供气模组

一、基础信息品牌：DIC 迪爱生（日本）

DIC SEPAREL DF 系列（溶剂 / 药液专用・紧凑型全氟脱气模组）

DF=PF‑F 系列，是 DIC 半导体光刻胶、蚀刻液、剥离液、CMP 研磨液专用紧凑型 PTFE 中空纤维脱气模组，全氟接液、无金属析出、ppb 级脱气，比 PF‑D 系列耐化学更强、流量更大，半导体机台标配款。

一、核心定位 & 结构

• 膜材：PTFE 聚四氟乙烯中空纤维，接液部全氟树脂

• 流向：内部灌流式（液体走纤维内，真空抽外侧），可反向清洗

• 功能：脱气（除 O₂/CO₂）+ 供气（溶解 N₂）两用

• 优势：耐强酸强碱、有机溶剂，无离子污染，适配优良制程

二、主流型号 + 参数（半导体*常用）

型号	流量 (mL/min)	尺寸 (mm)	耐压	用途
PF‑03F(DF‑03)	1‑100	φ102×180	0.294MPa	微型光刻胶、小流量药液
PF‑05F(DF‑05)	1‑100	φ102×180	0.294MPa	标准紧凑型爆款
PF‑10F(DF‑10)	1‑200	φ102×260	0.294MPa	中流量 CMP、批量清洗
PF‑13F(DF‑13)	1‑300	φ102×260	0.294MPa	大流量药液脱气
PF‑28F(DF‑28)	1‑500	φ102×440	0.294MPa	产线主路大流量

DF（PF‑F）系列外观

整体为白色氟塑料圆柱形紧凑型，接口为 1/4 超级螺纹，真空口 Rc1/8，体积小巧可直接装半导体机台管路

• 外壳：白色全氟材质，耐腐蚀

• 标签：DIC SEPAREL 原装标识

• 尺寸：直径统一 102mm，长度随流量变化

产品类型：PTFE 聚四氟乙烯折叠式精密过滤芯（5 英寸）
定位：半导体、面板、电子化学品、光刻药液、超纯水终端**过滤，耐强酸强碱、有机溶剂，适配 HF、HCl、蚀刻液、剥离液等高腐蚀精密工艺，0.2μm **级**精度
二、型号含义
DF：DIC Fluorine filter，氟树脂（PTFE）精密折叠滤芯系列
05：滤芯长度 5 英寸（小型标准款，适配小型过滤器壳体）
0.2μm：**过滤精度 0.2 微米，可截留**、微颗粒、胶体杂质，实现**过滤
三、核心结构与优势
全 PTFE 接液材质：滤膜、支撑骨架、端盖、密封圈全部为聚四氟乙烯，耐HF、盐酸 HCl、强酸强碱、有机溶剂、光刻胶、IPA，化学兼容性强
折叠式结构：超大过滤面积、低压损、大通量，纳污能力优异，使用寿命长热熔焊接工艺：无粘合剂、无析出、无纤维脱落，满足半导体超高纯洁净要求疏水型 PTFE 膜：可用于液体 + 气体双向过滤，适配药液、超纯水、高纯气体出厂 100% 完整性测试，精度稳定，适配 24h 连续精密工艺
四、接液部材质
滤膜：疏水 PTFE 聚四氟乙烯膜
支撑层 / 中心杆 / 外壳：PTFE密封圈：FFKM 全氟橡胶（耐全化学品腐蚀）接口：226/222 插入式，适配标准小型滤壳
五、关键技术参数
过滤精度：**精度 0.2μm（**级）长度：5 英寸*大工作压力：0.4 MPa工作温度：5–80 ℃适用流体：液体 / 气体通用,可耐受：HF、HCl、H₂SO₄、NaOH、有机溶剂、光刻药液、超纯水

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六、适用介质
超纯水、、盐酸、蚀刻液、显影液、剥离液、光刻胶、IPA 异丙醇、各类强腐蚀电子化学品、高纯工艺气体
七、典型应用
半导体 / SiC 第三代半导体 HF/HCl 蚀刻药液终端过滤、**除颗粒面板行业光刻胶、涂布液、精密化学品精密过滤超纯水系统终端**、气体管路杂质过滤小型化学供液系统、实验室精密药液过滤