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| 品牌 | DIC/迪爱生 | 供货周期 | 两周 |
|---|
日本DIC eFLOW3AP超纯水防静电装置
日本DIC eFLOW3AP超纯水防静电装置
一、工作原理
超纯水（DIW）从中空纤维膜内侧流过，CO₂气体从膜外侧透过致密透气膜溶解进纯水（膜只透气、不透水）；
CO₂溶于水电离出微量离子，提升纯水导电能力、降低电阻率；
设备通过配比CO₂饱和水 + 原生超纯水的混合比例，闭环精准控制出水电阻率，稳定抑制静电积累，杜绝清洗时静电击穿晶圆线路、粉尘静电吸附问题。
配套 CO₂溶解模组原厂质保5 年，寿命远优于同类竞品。
| 型号 | 处理流量 (L/min) | 内置膜芯模组 |
|---|---|---|
| eFLOW 1AP-B02 | 1～16 | PF-001L-NA×1 |
| eFLOW 2AP-B01 | 5～30 | PF-001L-ND2×2 |
| eFLOW 3AP-B01 | 10～50 | PF-001L-ND3×2 |
| 型号 | 适用流量 (L/min) |
|---|---|
| 1AC-P201 | 1～16 |
| 2AC-P201 | 5～30 |
| 3AC-P201 | 10～50 |
二、C 系列（Cabinet 柜式整机，带 CO₂气瓶仓 + 电阻率自控，落地一体机）
| 型号 | 处理流量 (L/min) | 内置膜芯模组 |
|---|---|---|
| eFLOW 1AC-P201 | 1～16 | PF-001L-NA×1 |
| eFLOW 2AC-P201 | 5～30 | PF-001L-ND2×2 |
| eFLOW 3AC-P201 | 10～50 | PF-001L-ND3×2 |
PF-001L-NA（适配 1AP/1AC 机型）
PF-001L-ND2（适配 2AP/2AC 机型）
PF-001L-ND3（适配 3AP/3AC 机型）
eFLOW 5AC/5AP：70～100L/min 超大流量定制款
30A-L1：小型简易 CO₂防静电单元（紧凑型模组）
电阻率稳定性ji强：du有分流管路设计，流量波动下出水阻值波动极小，对比国产设备控值精度提升 60%，适配高精度晶圆切割 / 湿法清洗；
故障率低：无精密泵阀、无动态密封结构，模块化构造，运维简单；
低水压损耗：DIC 中空纤维膜低压渗透，管路压降小，不用额外增压泵，节省纯水站改造成本；
多功能拓展：除 CO₂调质防静电，更换模组可实现纯水脱氧、制备弱酸性功能清洗水、锅炉给水除氧。
半导体晶圆：硅片 DICING 切割清洗、湿法槽洗、SC 清洗、Wafer 高压喷淋；
面板 / 光学：LCD/OLED 基板清洗、掩模版 / 光罩清洗，防止静电击穿像素线路；
精密电子：PCB 超细线路清洗、元器件超纯水漂洗；
其他：光伏硅片清洗、精密五金超纯水防静电喷淋、超声波清洗线调质用水。
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