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| 品牌 | KASHIYAMA/日本 | 供货周期 | 两周 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 化工,能源,电子/电池,汽车及零部件,电气 |
日本樫山工业Kashiyama 大型罗茨干式真空泵
日本樫山工业Kashiyama 大型罗茨干式真空泵
高真空 + 宽抽速：抽速覆盖1,300–20,000 L/min，极限压力低至0.5 Pa，兼顾中高真空与大流量需求。
水冷螺杆 + 高耐久：立式螺杆转子（非接触），水冷散热；转子 / 腔体采用不锈钢 / 陶瓷涂层，耐酸碱与粉尘，适合严苛制程。
wan全无油 + 高洁净：无油设计，无油蒸汽污染，满足半导体 / 医药高洁净标准。
节能 + 智能控制：标配变频（VFD），能耗比传统干泵低30%–50%；支持 Modbus / 以太网通讯，远程监控与自诊断。
长维护周期：标准工况维护间隔4–5 年，低于 SDL 但高于 E 系列，适配连续生产。
强蒸汽 / 溶剂处理：内置气镇 + 耐腐蚀材质，可处理水蒸气、IPA、丙酮及酸碱气体（如 HCl、Cl₂）。
| 型号 | *大抽速 (L/min) | 极限压力 (Pa) | 功率 (kW) | 重量 (kg) | 电源 |
|---|---|---|---|---|---|
| SDE90X | 1,300 | 1.3 | 1.3 | 210 | 3φ 200–480V |
| SDE120TX | 1,500 | 1.3 | 2.8 | 230 | 3φ 200–480V |
| SDE200 | 3,300 | 1.3 | 2.7 | 280 | 3φ 200–480V |
| SDE303X/TX | 5,000 | 0.5 | 1.5/3.0 | 350 | 3φ 200–480V |
| SDE603X/TX | 10,000 | 0.5 | 1.6/3.1 | 480 | 3φ 200–480V |
| SDE1203TX | 20,000 | 0.5 | 2.0/3.2 | 620 | 3φ 200–480V |
| 注：数据为 N₂吹扫未使用时的标准值。 |
半导体制造：200–300mm 晶圆刻蚀、CVD、PVD、ALD、真空焊接、测试 / 封装。
FPD / 光伏：LCD/OLED 面板、太阳能电池板的镀膜、刻蚀、清洗、干燥制程。
工业真空：中型中央真空系统、真空热处理、真空浸渍、中型腔体高速抽气。
科研 / **制造：中型真空舱、航天模拟、高能物理、质谱 / SEM 联用（高真空端）。
| 对比项 | NeoDry E 系列 | SDE 系列 | SDL 系列 |
|---|---|---|---|
| 定位 | 小型风冷干泵（实验室 / 小工业） | 中型水冷干泵（半导体 / 中工业） | 大型风冷干泵（半导体 / 大工业） |
| 抽速 | 110–5,000 L/min | 1,300–20,000 L/min | 25,000–60,000 L/min |
| 极限压力 | 0.3–5.0 Pa | 0.5–1.3 Pa | 0.8 Pa |
| 冷却方式 | 风冷 | 水冷 | 风冷 |
| 重量 | 19–125 kg | 210–620 kg | 645–950 kg |
| 维护周期 | 3–6 年 | 4–5 年 | 6 年 |
| 耐腐蚀性 | 标准 | 强（涂层） | 标准 |
抽速匹配：中大型腔体（100–500L）优先 SDE303X/603X；小型腔体选 E 系列，超大腔体选 SDL。
极限压力：高真空（≤1Pa）选 SDE/SDL；普通真空（1–10Pa）可选 E 系列。
蒸汽 / 腐蚀负载：含水汽 / 酸碱气体必选 SDE（耐腐蚀涂层），必要时加冷阱。
冷却条件：有水冷选 SDE；无水冷 / 移动场景选 E/SDL。
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