EBARA荏原EV-X系列干式真空泵，是日本荏原（EBARA）旗下核心工业级无油真空设备，采用多级罗茨啮合旋转结构，属于干式无油真空泵，全程无油、无接触啮合，无需润滑油润滑，从根源上杜绝油污染，契合半导体、光伏、锂电池、制药、化工等对洁净度要求高的行业需求。该系列核心作用是直接抽取气体，实现系统高真空环境，无需搭配前级泵即可独立运行，凭借空冷节能、高水蒸气耐受性、低振动低噪音、维护简便的优势，广泛应用于半导体制造（CVD、PECVD、蚀刻工艺）、太阳能电池片生产、锂电池制造（脱气、封装）、化工蒸馏和干燥、制药冻干、实验室精密真空等多种工业场景，其中EV-X50为小型机型，EV-X100为中型机型，EV-X200为中大型机型，可根据工况流量需求灵活选型。

EV-X系列整体采用高效节能电机，适配洁净环境与含微量腐蚀、可凝蒸汽的工况，部分型号支持氮气吹扫、防腐材质升级，满足复杂工况处理需求，其转子与泵腔无接触摩擦，磨损小、使用寿命长，维护便捷，且整机结构紧凑、占地小，搭载智能监控与故障诊断系统，自动化程度高，是现代工业洁净真空系统的核心配套设备，在半导体和光伏制造领域的真空设备供应中占据重要位置。

二、全型号核心参数速查（50Hz 工频，标准工况）

型号	公称抽速（m³/h）	极限真空（Pa）	电机功率（kW）	冷却方式	*大连续进气压力（mbar）	适配工况类型
EV-X50	50	≤0.1	2.2	空冷	1013	小型洁净工况、实验室配套、负载锁
EV-X100	100	≤0.1	4.0	空冷	1013	中型工业工况、制药冻干、真空脱气
EV-X200	200	≤0.2	7.5	空冷/水冷可选	1013	中大型工业工况、镀膜、化工蒸馏

注：1. 60Hz工况下，抽速提升约20%，适配海外电压（208-230V/460V），电压 tolerance±10%，50/60Hz双频自适应；2. 全系列标配三相异步电机，可定制防爆电机（Exd II BT4），适配易燃易爆工况；3. 极限真空为常温、洁净空气搭配标配气镇工况下测试值，无需搭配前级泵，单独运行即可达到该真空度；4. EV-X200水冷版本需确保冷却系统正常工作，避免泵体过热；5. 电机均配备过热、过载、缺相保护，符合IEC 34-11标准，运行**可靠；6. 全系列具备高水蒸气耐受性，适配含可凝蒸汽的工况，部分型号可加装氮气吹扫装置。

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